选用真空泵地注意事项

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选用真空泵的注意事项

沈阳纪维应用技术有限公司 宁宪宁

　　1.真空泵选择的原则
: L( a! ~% j" u* W    　在设计真空系统时，首先要正确选择真空泵的类型，确定真空泵的大小。
3 W& r" ?8 u- [　　2.真空泵类型的选择
* U6 t: d, M/ R7 n2 Y; k$ g6 u" }! t    　在选择真空泵的类型时，需要考虑的包括被抽真空室要达到的极限压强和工作压强，被抽气体的种类，和真空泵采购的初始投资与运行中的日常维护费用。
( Y6 @" P8 R- {　　3.真空泵工作压强范围的选择
/ P* x: {1 o* X0 Y! h3 O    　首先要根据被抽真空室要达到的极限压强和工作压强，正确选择真空泵的工作压强范围。
% [9 [. H) U6 V' ]8 n9 X8 k* O    　从设计与制造者的角度，每种真空泵都有一定的工作压强范围，如：无油涡旋真空泵的工作压强范围为大气～1Pa。在这样宽的压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为10E4～10Pa。因而，无油涡旋真空泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在大气下或者1Pa下长期工作。
    　从用户的角度看，真空泵的工作压强应该满足被抽真空室的极限真空及工作压强要求，通常选择真空泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。例如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。
　　4.真空泵大小的选择
    　选择真空泵的大小，就是确定真空泵的抽气能力。真空泵大小的选择主要根据两点：
, y! Z; R# `4 Z$ A% f    　首先根据被抽真空室工作时所需要的工作压强和室内的最大排气流量来决定。每种泵都有其极限压强和最佳抽速压强范围，真空室内压强要在泵的最佳抽速压强范围内。
    　其次还要根据真空室的大小和抽气时间要求来选择。
8 N! ]3 W$ L6 q, B# q5 {    　另外真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。但大部分工作压强是单独一种真空泵所不能达到的。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预抽真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵。所以需要正确地将不同的真空泵组合成为真空机组，以满足工作要求。
    　例如半导体行业真空室体积较大，要求真空室内工作环境清洁无油，抽气时间尽量短、以提高工作效率。这时抽速为15～60立方米/小时（4～16升/秒）的无油涡旋真空泵，可以与罗茨泵组成无油真空机组，达到接近600立方米/小时（150升/秒）的抽速，实现大抽速、清洁无油的目标，就能够很好的满足半导体行业镀膜生产线的要求。
　　5.正确选择适合被抽气体种类的真空泵
; }1 K, f$ w$ B9 v9 }' k    　由于真空泵有选择性抽气，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。比如分子泵需要前级粗抽泵启动，与无油涡旋真空泵组合起来，便会使被抽真空室得到良好的真空度和清洁无油的真空环境。
    　如果被抽真空室要求清洁无油时，应该选各种无油真空泵，如：无油涡旋真空泵、螺杆泵、水环泵、溅射离子泵、低温泵以及分子筛吸附泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等。
, }2 |0 b8 J, v1 z' @2 r, W    　另外还应当考虑被抽气体的种类，气体中有无可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
+ l6 v9 f2 N/ ?7 ^　　6.考虑真空泵对周围环境的影响
    　如果工作场所周围环境不允许有污染，如洁净室等，就要选择无油真空泵，如无油涡旋真空泵等。
) [0 ]; F; }. ]　　7.考虑真空泵工作时产生的噪音与振动对工艺过程及环境的影响
    　若工艺过程不允许噪音与振动，如分析测试仪器，就应选择噪音低、无振动的真空泵或者采取隔离罩、软连接等减噪、防振措施。
: T, h0 ~8 [5 o　　8.真空泵采购的初始投资与运行中的日常维护费用
    　要从整个设备全局的角度来选择真空泵，综合平衡价格、运转及维护费用因素，考虑初始投资与日常维护费用的平衡。如无油涡旋真空泵虽然采购投资较高，但是具有运行中不需要油润滑、也不需要冷却水，具有省却了冷却水系统、不用更换润滑油、不会对环境造成油污染、运动部件互相不接触、能耗低、节省能源的优点，最重要的是提供了清洁无油的真空环境，提升了设备档次，顺应了湿法真空工艺向干法真空工艺转变的发展趋势，是很好的选择。