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[求助] 表面质量问题得不到解决

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发表于 2009-11-19 10:10:59 | 显示全部楼层 |阅读模式
现在碰到的问题是:膜层表面易附着不宜擦拭的灰尘。改变最外层材料结构也不行,请教一下,有没有什么好的方法?
发表于 2009-11-19 11:30:37 | 显示全部楼层
你用什么方法镀的膜,什么材料
 楼主| 发表于 2009-11-20 09:40:44 | 显示全部楼层
离子源辅助,最外层sio2
发表于 2009-11-20 10:55:42 | 显示全部楼层
1.放气时不要将镜片对准放气口;
  i0 w! n5 \( t0 ?$ S3 `! ^2.是不是缺陷?也许速率太高,或者镀膜室太脏的原因
发表于 2010-1-2 08:54:20 | 显示全部楼层
机器太脏了
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