1315 nm高反射率硅镜的膜系分析

gds · 发表于 2009-10-22 08:03:40

1315 nm高反射率硅镜的膜系分析‘
彭玉峰程祖海张耀宁周次明杨春华
(华中科技大学激光技术国家重点实验室，武汉430074)
提要利用TFCALC薄膜设计软件包对TiQ/SiO-TaiOsISO,和S/Sio,膜系中心波长为1315- 的硅镜反射特
性进行了仿真模拟。给出了正人射与45'斜入射情况下三种膜系硅镜的反射特性，并进行了分析与讨论。
关健词化学氧碘激光器，硅镜，高反射率，薄膜
中圈分类号0484.5 文献标识码A
Analyses of Si-mirror Film Systems with High Reflectance at 1315 nm
PENGY u-feng CHENG Zu-hai ZHANGY a-oning ZHOU Ci-ming YANG Chun-hua
?Yational Key Laboratory for Laser Technology，H-zhong Unirrrsity of Science and Tech-log ，Wthan 430074
Abshxt Reflectancep ropertieso fsi limrtm irrorsw ithT iO,/SO,.,T ar05/&O,，andS ifSiO,fi lm systemsa t1 315n m
are manericaly analyzed, and disrvssed under conditions of normal and 45' tilt angle incidence, respectively. The results
showt hatre flectancep ropertiesof T iO,/SOran dT a,q渴qaresi milar;th eoreticalre flectivityis le ssth an9 9.9596fo r
1315 nm laser wavelength. Theoretical reflectivity of Si(c)/SiQ stack can be more than 99.9996
Keyw ards CO IL,s itiornm irorrs,fi lm,h ighr eflectivity

tfc3.5 · 发表于 2009-10-22 22:35:10

看看什么东西

tfc3.5 · 发表于 2009-10-23 22:09:39

看了，感觉意义不大。

weimao_liu · 发表于 2009-12-4 03:29:38

路过，顶一下。

heibailamei · 发表于 2010-3-13 12:02:22

需要高反镜的资料，借用下吧，谢谢啦

zn680420 · 发表于 2010-3-13 12:31:45

路过，顶一下

longer · 发表于 2010-9-4 02:14:45

看看吧
不知道什么样

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