1315 nm高反射率硅镜的膜系分析

gds

1315 nm高反射率硅镜的膜系分析‘
彭玉峰程祖海张耀宁周次明杨春华
0 f+ i$ [0 w" P7 v" p" h/ D(华中科技大学激光技术国家重点实验室，武汉430074)
提要利用TFCALC薄膜设计软件包对TiQ/SiO-TaiOsISO,和S/Sio,膜系中心波长为1315- 的硅镜反射特
性进行了仿真模拟。给出了正人射与45'斜入射情况下三种膜系硅镜的反射特性，并进行了分析与讨论。
; ?" e; f* y! Z7 ^) U* {关健词化学氧碘激光器，硅镜，高反射率，薄膜
中圈分类号0484.5 文献标识码A
: j4 R! |4 F2 J" ?Analyses of Si-mirror Film Systems with High Reflectance at 1315 nm
% t+ R' L. T; [/ ?+ E* ?8 a. LPENGY u-feng CHENG Zu-hai ZHANGY a-oning ZHOU Ci-ming YANG Chun-hua
+ x( b% }; |9 r/ a6 E  r?Yational Key Laboratory for Laser Technology，H-zhong Unirrrsity of Science and Tech-log ，Wthan 430074
  c3 q' Q0 l# y$ ^Abshxt Reflectancep ropertieso fsi limrtm irrorsw ithT iO,/SO,.,T ar05/&O,，andS ifSiO,fi lm systemsa t1 315n m
, T* D; @1 }- R8 w$ xare manericaly analyzed, and disrvssed under conditions of normal and 45' tilt angle incidence, respectively. The results
0 W0 A% ]* @2 m: W# b1 Y( a& Vshowt hatre flectancep ropertiesof T iO,/SOran dT a,q渴qaresi milar;th eoreticalre flectivityis le ssth an9 9.9596fo r
1315 nm laser wavelength. Theoretical reflectivity of Si(c)/SiQ stack can be more than 99.9996
Keyw ards CO IL,s itiornm irorrs,fi lm,h ighr eflectivity

tfc3.5

看看什么东西

tfc3.5

看了，感觉意义不大。

weimao_liu

路过，顶一下。

heibailamei

需要高反镜的资料，借用下吧，谢谢啦

zn680420

路过，顶一下   

longer

看看吧
不知道什么样