1315 nm高反射率硅镜的膜系分析

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1315 nm高反射率硅镜的膜系分析‘
彭玉峰程祖海张耀宁周次明杨春华
; G% E! F2 q. F8 ]5 H(华中科技大学激光技术国家重点实验室，武汉430074)
" M8 i7 l7 ~9 R5 L0 O. i3 }# K提要利用TFCALC薄膜设计软件包对TiQ/SiO-TaiOsISO,和S/Sio,膜系中心波长为1315- 的硅镜反射特
+ z7 Y" L# v9 z/ ?9 Z9 z性进行了仿真模拟。给出了正人射与45'斜入射情况下三种膜系硅镜的反射特性，并进行了分析与讨论。
$ h& m" X) w6 Q  o% K关健词化学氧碘激光器，硅镜，高反射率，薄膜
  j  ]* J$ S. q% I* N! ?; S中圈分类号0484.5 文献标识码A
- ~9 V+ C! K8 l# x: j( xAnalyses of Si-mirror Film Systems with High Reflectance at 1315 nm
PENGY u-feng CHENG Zu-hai ZHANGY a-oning ZHOU Ci-ming YANG Chun-hua
- B5 _. k% z6 ~& @/ _0 w8 C+ Q?Yational Key Laboratory for Laser Technology，H-zhong Unirrrsity of Science and Tech-log ，Wthan 430074
5 G/ p- v! b3 t+ d1 {Abshxt Reflectancep ropertieso fsi limrtm irrorsw ithT iO,/SO,.,T ar05/&O,，andS ifSiO,fi lm systemsa t1 315n m
" B, M4 t7 U# I4 care manericaly analyzed, and disrvssed under conditions of normal and 45' tilt angle incidence, respectively. The results
showt hatre flectancep ropertiesof T iO,/SOran dT a,q渴qaresi milar;th eoreticalre flectivityis le ssth an9 9.9596fo r
1315 nm laser wavelength. Theoretical reflectivity of Si(c)/SiQ stack can be more than 99.9996
Keyw ards CO IL,s itiornm irorrs,fi lm,h ighr eflectivity

tfc3.5

看看什么东西

tfc3.5

看了，感觉意义不大。

weimao_liu

路过，顶一下。

heibailamei

需要高反镜的资料，借用下吧，谢谢啦

zn680420

路过，顶一下   

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看看吧
+ w/ t% j9 T* i# c) U: d不知道什么样