基于膜系设计控制薄膜残余应力的研究

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基于膜系设计控制薄膜残余应力的研究  
[期刊论文] 《真空》 ISTIC PKU -2009年1期-夏志林，薛亦渝，郭培涛，黄才华，李展望，傅志伟，XIA Zhi-lin，XUE Yi-yu，GUO Pei-tao，HUANG Cai-hua，LI Zhan-wang，FU Zhi-wei
' \& T* v2 M8 C" F" z5 G; a残余应力大的薄膜,容易产生脱膜现象,使得薄膜失去所需功能.在激光薄膜领域,残余应力也是薄膜激光损伤阈值难以提高的原因之一.基于热收缩效应模型和弹性力学原理,从薄膜膜系着手提出了控制薄膜残余热应力的膜系设计原则...
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关键词：光学薄膜 残余热应力 膜系设计 有限元模拟

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