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基于膜系设计控制薄膜残余应力的研究
3 @$ Y. T( m8 \[期刊论文] 《真空》 ISTIC PKU -2009年1期-夏志林,薛亦渝,郭培涛,黄才华,李展望,傅志伟,XIA Zhi-lin,XUE Yi-yu,GUO Pei-tao,HUANG Cai-hua,LI Zhan-wang,FU Zhi-wei
, P2 t L: i F4 k- D" [7 s0 p7 y9 t- p残余应力大的薄膜,容易产生脱膜现象,使得薄膜失去所需功能.在激光薄膜领域,残余应力也是薄膜激光损伤阈值难以提高的原因之一.基于热收缩效应模型和弹性力学原理,从薄膜膜系着手提出了控制薄膜残余热应力的膜系设计原则...3 R) K5 N/ i4 W( C+ d0 D
( z5 e# q9 o4 P4 c( T! S关键词:光学薄膜 残余热应力 膜系设计 有限元模拟 |
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