|
|
光学薄膜应力的研究3 A# F. n1 S8 ~6 c; z2 K
* k* s$ p1 S2 p0 s
0 M2 X' I" ^2 K8 i1 N. V" s
$ R; I) a1 `& s+ T4 T' o
【作者中文名】 陈为兰; 1 A6 x$ V J+ g, T
【导师】 章岳光; 顾培夫; 7 \$ _$ ?8 S7 G
【学位授予单位】 浙江大学; + H0 d+ h* H+ t8 U Y* d
【学科专业名称】 光通信技术
: f. S- ~: \0 k' c4 A# n9 `( \【学位年度】 2008 + r. e; m7 Z. z O! K( W/ ^
【论文级别】 硕士 % o- B: R% U9 s6 b
【网络出版投稿人】 浙江大学 : ~6 h8 f+ I5 i+ O
【网络出版投稿时间】 2008-07-15 8 R; [2 n+ |; `' l& u" `1 J
【关键词】 光学薄膜; 残余应力; 热应力; 内应力; 薄膜分层; 8 Q/ J R0 W9 j* j2 Y0 t
【英文关键词】 optical thin film; residual stress; thermal stress; intrinsic stress; thin film delamination;
0 s% e6 g1 Z! Y8 Q; Q【中文摘要】 光学薄膜广泛应用于半导体器件、光电显示、光通信等领域。由于薄膜镀制过程中,经历了固相-气相-固相的变化过程,使得光学薄膜中普遍存在一定的应力,应力的存在不仅影响薄膜-基板系统的牢固性,还会引起基板发生形变,从而使膜系偏离中心波长。因此,研究薄膜的应力行为,限制薄膜应力的影响,对提高光学薄膜的性能有重要意义。 在薄膜的镀制过程中由于品格失配、热膨胀系数失配、薄膜在沉积过程中分子之间的相互作用以及薄膜内部存在着各种宏观缺陷,从而使薄膜基板系统中存在着应力。微电子及光电子器件的使用寿命与薄膜应力有很大关系。 为了研究应力对薄膜器件的牢固性的影响,本文进行了深入的研究工作。 本文首次利用有限元分析软件ANSYS研究了在热应力起主要作用的薄膜系统中,力矩理论在分析薄膜系统牢固性方面的应用。研究发现:力矩均为负值时,在薄膜层与层之间的界面处,自由边界附近受到最大的张应力,靠...
( M7 j" h# N% G* \8 O【英文摘要】 Optical coatings are used in semiconductor, display, communicate and so on. During coating, there is the transformation of solid-gas-solid, and so there are stresses. Stresses will affect the system and cause the substrate to deform and make the center wave shift. It is important to research stresses in films. Due to the film deposition process, the lattice mismatch, the thermal expansion mismatch and disfigurement, the film/substrate system is inevitably subjected to residual stresses. Stresses, specia... 6 r$ {8 ?* q2 f* x) B
- O, Z0 s X+ w% m& T5 N
$ l, K# z2 D. f1 _# }& M5 m! ~# M
5 i2 X! f0 y; G6 @' o$ {
' t; D$ d1 v# M: C( A
/ q8 N. ~# W! n' \2 x解压密码：2 ^/ p3 S* D% G; @/ H$ o% _/ d
2 O0 \5 I$ b, v, q! }7 L |
本帖子中包含更多资源
您需要 登录 才可以下载或查看，没有账号？注册
×
|
窥视卡
雷达卡
发表于 2009-10-4 19:43:42
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
抢沙发
显身卡
发表于 2010-2-23 17:53:33