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光学薄膜折射率和厚度测试技术及研究 : w* H( m* K! O" V1 v' d
3 q5 P& r8 q) `% G9 x# F5 P! i1 A[学位论文] 胡容, 2004 - 南京理工大学:仪器仪表工程
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论文在综合了国际上光学薄膜折射率和厚度不同测试方法的基础上,采用可变角椭圆偏振法来实现和建立国防系统的光学薄膜折射率和厚度最高标准.可变角度的光谱椭偏仪(VASE)是一种测量光学薄膜折射率和厚度的仪器,它对于新... |
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