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[求助] 哪位好心人能发H4的材料库数据给我,谢谢了!!!

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发表于 2009-8-29 12:07:56 | 显示全部楼层 |阅读模式
哪位好心人能发H4的材料库数据给我,谢谢了!!!
发表于 2009-8-30 01:31:31 | 显示全部楼层
还是根据自己机器镀制后测量计算适合自己& M: x; h# p: t+ C( V! ]

1 x- a' k0 m. G6 y7 {( J. q1 j4 v下面的也许对你有用:
0 b# D/ K4 ?- d$ |/ y" ]8 I  f+ ]: G* D) g% h
镀膜材料
; q# E1 l, q+ ?+ _9 l2008-01-02 20:28:14 ) m5 D, Z$ y0 w) \
TiC、CrC、TiN、TiCN、TiAlN、TiO2
% s" r* i; g4 B1 {* n' a0 @2 kH4膜料的特性.膜料为一高折射率材料. 使用两种膜料来镀增透膜,SiO2通常被作为低折射率的膜料,氧化锆, 氧化钽通常被作为高折射率的膜料.然而,H4也是一种优异的高折射率膜料,优点如下: " J, _3 e6 P" M, q; |5 q  E2 `
  TiO2:由于折射率太高不能被利用。
  p$ }% O: J1 ^$ X  *稳定的折射率(即使从一个坩埚中沉积次数 ) M( M( }% C) j  y* q
  *高度的均匀性
+ Y- f* ~* M& z# O" s  *高透光率的膜层 . w( X8 e( Y4 X6 y. k3 M
  H4和SiO2一起使用也可以在未加热的基片上形成坚硬,没有吸收的膜层,因此,它是应用在树脂眼镜片上很好的膜料.H4也可以被应用在离子辅助沉积法中(IAD,IBAD)。- }% h9 u( n2 B6 y4 ?, S* |
  综上所述,H4在大多数增透膜上有着其它膜料无法比拟的合优势.但是,在紫外应用中,H4则不能被考虑,此时;紫外级别的HfO2可适用。$ J) s( B1 ?8 g/ o3 C9 D" T' u

8 t9 O# K0 t  c( Y7 Q  @) D. y1 j$ q默克公司Patinal镀膜材料类别及特性
! x4 [2 F6 P3 H4 `1 [* B类别
' Z3 }9 b  p) k- i1 n材料名称
. L7 H  H* ?/ m  p* T) ~规格1 p" h: B  v1 a" N$ J3 m+ F, o) C
折射率
, {% Y; O- r8 N% ^$ q( i% y透过范围
) `* I7 Y, Y0 K( c蒸发温度(℃)7 b- G1 w* N/ B$ T6 p
蒸发源6 g0 t7 [. }4 N% c
非金属膜料
/ N: [0 N; P- uMgF2
5 ~$ a- K! g  j. G# p1-2.5mm- h6 M7 l4 K$ a2 Z" r7 R0 n
1.38at550nm
( K  |/ p- ?) ]200-7000nm' }7 V" H% m: |* {1 ^' {) V
1300-1600& a/ t5 C6 @: g* C9 }
E.Mo,Ta,W( Z8 z. f! Y2 a) B( Y# [
Si02: U1 c  m& ^+ X& O/ ^7 Y
1-4mm
8 G8 w/ ]* i6 q2 _! G  f6 x1.46at500nm- Z6 o  l, u' F6 C0 F) E
200-2000nm+ `  |( `2 T) Q+ v/ j' y
1800-2200
/ U1 m. n0 W9 p* W: qE' J2 J: Q2 l6 ~
CeF3
; }) Z6 A( A+ W9 d& U' @% [! h1mm,1-4mm
0 @' L" Q7 r, n! D# r. [, o+ q1.63at500nm  z2 R1 m; A: h+ d; Q- _
300-5000nm
7 y3 r3 N0 B9 u0 N6 E2 _  G5 E+ n1400-1600
, I( H" l' U1 J8 ?4 YE.Ta
: x7 I: f2 ]5 I% Q" D! P' \% OAJ2030 D' n: J' ]; _7 p8 n3 T
1-3mm1 }5 l: s' G5 E/ D) `) q: @
1.63at550nm
  ]+ r! u& D' g200-5000nm
" W: _; h0 v: Y9 H: y6 \6 e  i$ |2000-2200
% @/ ]6 U6 ?2 q4 D) S( g& u" ?E9 L, x% D7 P9 p
Si0
) |7 `: s1 W6 ]4 w粉末、颗料
% m. G: b) E7 L7 }0 O1 ^1.8at1000nm/ ]: r0 r! V5 m- c" H
800-8000nm
& i/ S* q8 N$ g1200-1600
  g" L+ \6 Z( _+ |& p- d5 UE.Mo,Ta,W3 @4 w, H- B* ?* F
Zr02
9 i$ Z8 D5 V* m2 v颗粒、片状
: d9 k! C' D' P: f( v" [2.05at500nm  W- T! y/ Q# Y( r! ~6 f& `' j% e
320-7000nm
: @! t0 h, s8 r% e' X7 O& v6 Z" u约2500
5 x, _/ |. F$ ^$ [E) M1 d0 g. t) l3 V! A
Ta205. C2 m/ w# l! Q; @
颗粒、片状6 I! S6 @) E9 j
2.1at500nm
7 q. b9 U4 w8 _5 U& K350-7000nm
2 g3 Y; [4 D) K0 @0 r# k# ]1900-2200) {& L1 u. P! @: r; j5 i- O3 h: S: w
E
  [* r3 n" f4 w1 {# c8 p6 c% eNb2052 V/ D  K4 M3 T( J% k2 k
1-4mm
" l& U* p; [) g" D: U0 z2.3at500nm# U8 M5 O0 B9 @+ J, K! R
350-7000nm
: u7 }8 A: R& R  s0 l/ d5 K6 X3 |/ @1800-1900
  T. P; J5 _/ M: S7 cE2 _) \/ h. W: U- T% B
Ti02
) y  [; {. w/ u: q13.5*6mm
" f- ?) m  t" o! e3 g2.4at500nm2 T/ q' x8 e! w
400-12000nm8 R3 P) e; f3 \. h4 s3 b  I
2000-2200- d5 W1 @. v, C+ T8 m5 _  Z
E* i0 \( o2 m- U* ?6 [5 n5 U1 y
Ti203
$ p/ _' o4 U( T( T! T10.4*5.1mm
0 }) B4 q: l& l6 S2.4at500nm3 e5 y# v8 o2 o
400-12000nm. [0 c: N- v' D' ?
1800-2000' M' {3 q8 w4 v2 G$ o+ R
E,Ta,W& K, T) o+ N) o1 p) a
Ce02; R" d+ V5 k+ H
1-4mm,2-3mm
, w. ?9 y9 W  L3 `& g3 O8 d6 d2.0at500nm
& \# c) ?$ }8 R! j3 z, s400-16000nm
4 u) P# B: R6 b+ g约2000
. K0 c5 `( U  W) p  ^& \E
( u2 v+ g8 P4 ], R6 b特殊混合膜料0 [9 M0 s( ?0 o+ A+ s
Ti0S
% ]4 m5 r3 u& V1 D- e! m1.4mm* U: j) l8 {8 m9 p, J# [& S
2.4at500nm7 [0 q0 A$ |: F2 y, d1 R4 [
360-12000nm
# z3 Z$ P: d* v+ d, r0 A1800-2000
6 E& U9 |2 X# |# D/ c8 U& f/ fE,Ta,W6 }; m. `" g9 k' o/ o
H5& Q+ ?" u) N3 k# U0 {0 A. c
0.5-2mm,1-4mm2 V0 ^/ P% Q, i6 J
2.2at500nm
% H, R- `* f8 J1 u" A3 P) u8 [350-7000nm
+ z; g: W: Z. }5 x2 t约20009 s9 x% q( x- @& r2 p
E7 C0 v' F1 X" R# n
H2
  U* o7 u; l/ ~# t8 I2 w( {1-4mm
4 s& G% ^6 y4 d2.1at500nm7 d% n. U9 O$ ?$ L9 ?. n+ I% F
400-5000nm6 V: Y1 Z$ k5 }8 {5 D
2000-2200
% c% ~  g" y; c3 w9 a2 w+ N3 b4 eE,W; X/ M0 @% e) [% h
H4
' X8 M: H7 j5 H( g% J2 A; E1-4mm' U0 F) S! o2 v
2.1at500nm
: }: B) D6 A8 |360-7000nm
% _7 e" ]8 w$ w0 a3 D2200-2300
% K: p8 ]- E- o6 B5 v- n7 C5 \+ C( SE,Mo
1 \. \8 N( J: `4 f# @1 PM1
& `  c" C5 A2 \3 r1-4mm
1 z0 J7 p* `7 d1.7at500nm, D& C' E8 N( v. ?* h* R; T# ?
300-9000nm
. t3 \# M" F  A- Y% i2100-2200
9 `0 j. x( N; T8 aE
6 @3 T0 I& b- k( l+ x5 Q! CM2
) k8 G2 T) \5 b# N% W. {1-4mm
% P7 [( t+ D: L5 d' ]# L1.7at500nm5 t4 q7 b2 J* L
210-10000nm* O( r7 _* e7 o2 V$ N! O7 x# v
2000-2200
1 y* s/ F" p, J) V0 [" ME/ \0 P/ c6 r% k
M3! S4 w( V8 O" ?  P0 k1 l. A
1-4mm
0 c' C! [1 G. P9 Z# n1.8at500nm
" Z1 Q, o: @6 t4 H' R220-10000nm6 z  E+ Q2 W- [
约2100
/ ]' P& P8 y/ N/ }E,Mo
  b" E) J# ?) y4 h$ t0 L" g; EL5, [* `' w1 }2 [5 t; U5 c: o
0.5-4mm
) ]2 A) c7 w7 v9 x3 k0 c$ H+ e2 d. w. F1.48at500nm' Q# f7 y6 o1 _5 E$ Y1 f( D
300-7000nm) Q6 z; E( v0 S- x+ G0 y
约2000
7 m, i% k4 M( k) AE  w) S0 t, ?! G! ^; l
WR1. |5 V% P, t3 s3 F, D) P3 @
7*5mm,11*10mm
. L, O& k. O3 o% l1.5at500nm. N$ x' V  Q. b% u
380-700nm
1 v9 l1 ]6 q# Q3 s# x360-450+ N3 k, I& z4 U6 J
Mo+ @2 z* v- ?# [/ M1 |
WR23 {& B0 i2 ]2 l
11*5mm5 A' o8 J+ `" \4 T9 Q% o- m* B' c
1.5at500nm% u! O. b: J2 o
380-700nm/ C: C) q7 Y/ u/ L/ o
360-450$ ~9 }9 Z" |! F8 V. C
E,Mo
/ n5 J+ j6 {0 c9 `9 F0 i# bWR3$ G  j" S. O8 {8 ?- t0 i; x- r) b
11*8mm: R1 l+ x" ?$ ^% }  Q3 I) f0 F3 g
1.3at500nm( u! e% W0 T; b7 s$ C) e# s# b
380-700nm" @% E/ r5 q( n+ F7 L
350-500) K9 i: c% c1 y) r* P) @/ X. j4 s
Mo
% E) u& x0 u4 R  H( e$ }. zH4膜料的特性[/url]
/ r1 A. {0 ~4 i  
2 C4 `% w0 o7 V# d4 I1 W7 N2 _一、H4膜料的特性
" u9 i3 V$ L. f3 r, q成分
3 z: k) v6 Y4 c- w$ V, _8 R钛镧混合物, H$ o+ A$ B6 U# ?) e$ {
外观0 q8 v7 A% e/ [+ _7 y! H* Y: C
1-4mm的黑色颗粒7 {) ^; h* y1 B" |) w" m8 J
密度
4 q) I; Y! n' }5.9g/cm3
! y7 p5 x, ?8 ]; l; G1 r& Q* {熔化温度+ G% A6 [# W7 U; W" j- y/ |. c# K
1800℃5 j/ y* Y- J' i- Y6 \/ M: ]
沉积温度
9 x4 }  O( f# J4 F& M2200-2300℃
; w; ~/ G7 }# G& d( p沉积源) x# K8 l: N4 _) @
电子束% Z) F# Q" x7 }6 M& r5 w" K
坩埚- J4 I6 u7 I! S& A! y/ }! I  D% Y
铜或钼
/ r* h, _) n* Q/ y: }3 B  I$ B氧气压力
! G: E/ ~# }* ^; B" M" z0.8-2×10-49 l4 F' ?& B9 a0 Q  O1 {# G* @, b
沉积速率8 ?$ ]  ^, B) w' z# r* h4 I9 Z
0.2-0.8 nm/秒
$ h+ y( [$ [( ]' Q& \2 h- r基片温度" u! ^! k# P" d6 C. _5 r; f4 V/ l
大约30-300 ℃
1 f: K% C' ^4 T二、H4膜层的特性
  ~% `" P% ]5 C基片温度
+ Q% j1 f! m# u4 x! X大约30℃ 300℃
+ {, {) Y+ |; ^1 q. R500nm时的折射率
) g6 F) K  \8 c! k4 N' J  r, O1.99 2.12
  j8 m( O: w8 o# M* {400 nm时的吸收
2 h, g' k1 G% \吸收边缘
% J( B9 y; A3 K) \+ o300nm7 R4 Y2 q+ p$ y& P2 C. N
*吸收边缘是指在膜厚为270nm的膜层上,透光率为80%的波长。
' |2 h0 ]- V. |/ b8 y. ]三、折射率的散布: \8 Z1 B' z% f$ N1 U9 K" D; @9 h$ C; C$ y
基片温度# ~/ V; j- j7 E3 p- r" T
散布公式
" {$ a' q* s) C: e大约30 ℃
: o2 _$ q5 {9 K  b' an=1.887+25410/波长2' R1 @* |5 }& Y- Z  ?* H
100 ℃
4 B" R) g& O9 S! b, ?$ _3 hn=1.982+29820/波长22 R6 T- w! A2 x( v* z$ n' h5 ^- @
300 ℃
' ?* J& E; P6 ~n=2.009+28880/波长20 j- i/ ]! B( S/ J
[url=http://www.jinyu-opt.com.cn/detailed/detailed01-2.html]可获得高折射率膜层的膜料
: o( a. @! d0 ]: M
   有许多膜料可以得到高折射率的膜层(>2.0在500nm)。我们可以提供以下几种氧化(TiO2,TiOS,Ti2O3,Ti3O5,TiO),氧佛钽,氧化锆,氧化铪以及硫化锌。我们同时也提供独有的我我H1,H2,H4。
" v8 h% d+ n4 b/ B2 k表1:可获得高折射率膜层的膜料的较6 _/ U$ s" b, @
膜料
& j) B" p( x: A8 d大约在500nm的折射率
7 p# }& H+ L! @4 D8 u透光范围6 s- k9 I2 P% M: {0 j' d
氧化钛. g+ H: ?8 E: _& D
2.4
! D3 U/ d0 h8 p6 ]0 K0 b8 Q' y400-12000nm
) i" \' ]2 R, i氧化锆
0 J) H7 |+ P1 H7 \2.04 y1 U. s5 l. A
320-7000nm
% o/ ]% e) h: [& x! ?氧化铪/ v) }$ ^8 O# p0 g- v: [
2.0
3 I; R2 Y& I- b8 N( l0 p- `0 D  p1 n230-7000nm8 W; T, a% T" i
氧化钽# q' b" k: Y) [1 G7 f" E
2.1
7 W# L9 J9 e6 H# H& q350-7000nm) I' D" l* M2 J5 l1 g
物质H13 x1 \1 Y7 ]( \$ R/ C! N- Y
2.1- t* H3 U, I/ Z" }
360-7000nm0 i# z" k# D0 @7 M  n7 H
物质H21 k  h2 h* O8 D- k2 f, [
2.13 P  P$ d9 `+ O* ~. \/ b& t
400-7000nm
( P. i6 @/ R, w  d物质H4
( P+ [6 @) t+ X" P4 B2 ~0 a" C2.1
% T! a0 x2 Q) s1 j360& E' c4 B* P4 r" k6 X+ C+ P
高折射率膜料的比较: ^3 g2 U% h/ v- a- ^/ N8 S
膜料; I* x+ i+ m6 a
特性4 f: u- {' e4 v
TIO2
3 M0 F" u& d! u3 R+400-12000nm的高透光率
# P; a0 Y  h$ Z6 I0 i+从熔化的状态下沉积
% D5 h+ N, T& ?) d+一致的沉积 -2.4过高的折射率
4 x. ]$ X& O) g# R9 u  d; _-熔化时有氧气放出 熔化时有溅射6 y; o# v( q3 n9 A
Ta2O5
! M7 B# n$ i# \7 f9 J6 G: ~+350-7000nm高透光率) u0 I0 Q( G6 M" r, u$ }4 o
+2.1的折射率
9 ^+ B0 l5 |# ^) r+从溶化的状态下沉积
% X3 A& V" V4 Z2 f% C+一致的沉积
# w: l# I; C4 H/ g' I' y5 C1 ]4 v-熔化时有氧气放出
- R9 K- V+ _0 S( m: M-使用中会变成低态氧化物
/ h0 n$ G1 K) b% C0 I-蒸镀后需锻烧
; P$ H, _2 N% D  \, n  iZrO26 @! J4 B: `! a; g
+320-7000nm的高透光率
2 Z2 b0 C, }/ j+坚硬,牢固的膜层' ^9 A0 J) I. p  z5 U) F
-2.05偏低的折射率
- f+ J. V1 L8 r2 V-不均匀的膜层
- W/ E7 _4 f, m-蒸镀时不熔化: m$ x0 q" E* Q' M: [; |5 u
-不一致的膜厚/ q8 m) v# E" R7 I8 o
H19 c) z( i: T$ {4 Z) E
+360-7000nm的高透光率
" q  {7 S4 ~8 Y0 U7 \% ]+2.1的折射率
; H4 _5 w! b( E5 Q" U2 l+ d+坚硬,牢固的膜层6 ^1 W/ y/ R4 w8 `
+均匀的膜层3 O8 E( S( r& x$ F- s! }" `" y7 x2 F
-蒸镀时不熔化,难操作4 X7 P9 s* w+ d8 x$ p0 y% u& A( I1 w
-不一致的膜厚; [$ k8 P9 x6 J! R* Z& Y( l
H25 M% u2 a! {4 l0 m% }
+坚硬,牢固的膜层
& n  N* m" a) H+2.1的折射率
8 P% D' ~, w+ U3 c+一致的膜层$ ~) s) F& _( m) {' M" g
+蒸镀前熔化,易于操作
( c1 e3 B7 v1 i8 h: G- G+一致的膜厚
$ _. W/ |5 ~7 [1 t4 p: k-400nm以下的低透光率4 T- h1 _  z8 N3 Y4 Y; y4 O& S+ ^9 H
H4
8 H* `; H3 G7 e+ Q% U+ L+360-7000nm的高透光率
, k: m& i; P; i) I8 G6 A2 }! v: m+对可见光无吸收
4 ~& r# h9 w  |  l0 Y& N5 P+2.1的折射率* q! U- z) Q7 f
+均匀的膜层
- W, m2 o! ^0 x, r+沉积前熔化
5 }1 u1 m) R* e* f, A! U: M+一致的膜厚
, {1 i3 w5 K1 {+适合在塑料上蒸镀4 i( i3 y) V" R" z5 N$ ^3 \
TiOS膜料Patinal: B) D+ F% }0 u" t# R

0 {+ J/ C: c. D0 W5 c8 o# S  氧化钛是构成应用在可见光和近红外光谱范围内的反射镜,分光片,偏振片和滤光片的重要9 A, I, r' U% F7 {; s1 G$ g
膜层。在真空镀膜中,氧化钛膜层有着最高的折射率.SiO2/TiO2膜层设计有着很高的对比折射率,
" {5 w0 A" Y  P7 v5 S被广泛应用在多层膜中。氧化钛薄膜可由钛的各种氧化物,甚至钛金属来蒸镀得到.如果用传统% Y8 w; ^" }4 `' q  S
的方法来蒸镀钛金属和TiO,很难得到没有吸收的膜层.用Ti2O3和TiO2,在优化的沉积速率,氧气5 ~# i) D) B& Y  r/ C/ ]$ j
压力和基片温度下,可以得到低吸收,高折射率的薄膜。
# v8 l- ~- k8 {( u1 B" `' _  TiO2在加热和熔化过程中会释放大量的氧气.即使进行充分的预热,溅射还是不可避免的.在: M( ?8 Z  C$ L
这个过程中,膜料还是不可避免的.在这个过程中,膜料的成分会发生变化,直到氧和钛达到一个
+ f* Y* @, i5 A4 G6 b+ O  W稳定的比率.在长时间的蒸镀后,熔化的成分变成TiOx,X的值大致为1.7.X射线分析显示,熔化物
9 Z# O7 S5 D+ t$ d) c的晶体结构为Ti3O5加上少量的Ti4O7。为了减少溅射并得到稳定光学特征的膜层,在蒸镀前必' B" }6 {% A; h. z! y& l5 H) m3 y
需进行好几步的预熔。
( e3 e3 `  N- {6 s7 U% `  为了避免时间的预热,减少溅射,默克发明了一种新的膜料TiO S颗粒。TiO S的成分和熔化/ {) ~- r* Q" E2 C, m: Y6 N
物TiO2一致,因此,只要很短的预热时间便可进行蒸镀。2 e+ `8 G8 e+ M9 ~8 Y8 J2 ~
TiOS熔化物的成分在蒸镀过程中不会发生改变,因此可以得到均一的膜层和稳定的折射率。
1 h( L1 }' d) K& k# xTiOS的成分为TiOx,X的值为1.7,在Ti3O5(=1.667) 和Ti4O7(=1.75)中间。
6 A/ ]7 {# E4 V% _) v- T  
9 i3 b" M2 [( k1 W' D+ T3 B折射率为1.6-1.8的中折射率的膜料
2 ~( v( m9 Y! x) o6 g. J
9 ], b( M: {) ?6 _  有许多应用需要用到中折射率的膜料,例如增透膜,分光片,偏光器等。现有合适的膜料有以下几种:* T7 B! j1 Q9 H  I
*氧化物:氧化铝,氧化镁,氧化钇$ u6 C9 G9 V: g" p5 d. K; @% e
*氟化物:氟化铅,氟化铈,氟化镧,氟化钕和其它稀有金属的氟化物7 ~8 V0 i  J6 P  l2 G) b
*混合物:M1,M2,M3
. x: w- ^0 I  u2 F2 W  @  表1:可生成中折射率膜层的物质
" L2 s+ O( s2 P物质& t7 n) q" S$ Z+ A' t& e
熔化温度℃
$ |' R" }, E: T8 F3 E$ |蒸发温度℃
& a1 d' p4 ~3 |& T550nm时折射率
/ G/ Q% M& `+ |透过范围
# C$ a" c5 Y+ f/ n0 mAL2O3% C4 H0 v" y4 c/ A( t
2046
% L5 c8 v/ `8 ^: E& W) Y3 n; O. ?2000-2200. p& R$ y7 U, Q1 J9 J" b
1.63& t3 ^$ N3 I: ?; Y$ N' \, ^! F
200-5000' a/ a0 C+ m8 e
MgO
& g, Q8 n! U, e7 _26403 t( ^9 a4 @3 f) j. e
1700-1900
, S! c$ X9 A2 }. r, V7 w& `5 R1.77 h% ?- _# _6 `
200-8000# k9 z2 d- H9 {% e" Y, m! J6 {
Y2O3
5 Y. l6 h) I+ n2410
. R/ K7 O$ }0 `, d/ E5 `~2300
4 K& d) p& |7 b& \4 `+ f1.79! [8 q8 n9 q) M* p* i+ D% \% d% b
250-8000
# V) L" {6 U5 s1 q# ~LaF3
" u' \, N; s# F: H1495) U9 M! B/ e+ }/ ]' D! C  @
1250-1450
3 B+ P  `1 G: e* a. G1.6
5 Z# c" o! ]/ N/ D) f& \CeF3
6 B+ @, T5 c4 ]8 b1 Z0 O7 F$ ]( P7 ]14608 P0 n$ u4 E* t1 N% n! n' h8 D
1200-13006 O1 n0 y9 X9 E7 o  @
1.63
, \! F& D: y& k( i8 ~300-5000
: u/ `7 A! j  s8 w2 {NdF3
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1200-1400
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  i" Z4 ]. s, i+ z0 P( V+ n& WDyF3
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7 ?9 d7 n/ y: [& v5 Y* _0 _! K+ PPbF2- F9 Y. f" y( O
855
$ P3 h# _0 k7 |" t6 z900-1100
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5 b2 t, C; P/ W( Q; A, Z3 [6 D250-170007 m: h% }$ y# S  G( }
M1" }- ^" X3 ~/ T) R
~1700
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1.7/ ~* E2 r, F; [! W
300-90009 k( g8 O, Y/ ?4 u: I# K: Q
M2# A) X4 e7 r/ S! l( G
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' y! j4 ]; w9 F4 k7 F3 j( Q1.7! c6 P* U, q* [2 M- d2 ~$ ?
220-10000# `, e( T- k! n; g3 H& P0 H
M3
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~2100
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% ^2 D. p9 V  X# n220-10000; t/ H$ b, w6 L4 E: h7 b+ s5 b
氧化铝:
8 q& I( R, j- ~+ i是一种传统的物质,它的膜层相当的坚硬,牢固,在紫外,可见光和红外光范围内几乎没有吸收。氧化铝只能用电子枪蒸镀。氧化铝最大的缺点是它的蒸发温度和熔化温度十分接近,因此,在蒸发时氧化铝熔化很薄的一层,导致膜厚颁布很差。在应用方面,氧化铝经常被用来在眼镜,照相机或相似的产品上镀增透膜。它也可以被用在紫外和红外应用。
, X  P2 V8 F6 c2 H" S: `5 R氧化镁:
* B; B; V. k+ C% @氧化镁很少被用来作为蒸发材料。它在500nm的时候,折射率为1.7到1.75,透光范围从220到8000nm,氧化镁的膜层对湿度和二氧化碳十分敏感,它的升华保持膜层厚度均匀变的很难。& u; ]! e. I  g* @
氧化钇:" V2 Y" j% L9 G% K" E5 Z
氧化钇在500nm时的折射率为1.8,透过范围从250到8000nm.它在蒸发时只在表面有很薄的一层熔化,常常会引起膜层表面的粗糙和裂缝,因此,用氧化钇很难获得均一的膜厚。
7 z' Q  [" v& @4 X氟化铈:
9 f% l5 |- s4 j, O和氟化镁一起用来作为两层增透膜的中折射率材料.55nm时的折射率为1.63.透过范围从300到10000nm.用氟化铈镀的膜层最大的缺点是不坚固,并且同次性很差.它的折射率随膜厚的增加而变大。) O* \$ k7 r, H' B3 d
氟化镧,氟化钕和氟化镝1 Z* a  m# |: a- Q1 T# A/ L0 @
在550nm时的折射率为1.6.但是,很难在增透膜中应用,在紫外应用中很重要。. P$ n' ]8 j  x( v; L+ S, |3 U1 ~1 n) q
氟化铅9 A+ |4 v' r" b  `! ]
主要应用在红外领域中。
: S7 v/ y  S. ^5 JM1,M2,M3
& E( F4 O+ s! O" B' X这是默克为克服氧化铝的缺点而开发的新膜料.M1,M2在500nm时的折射率为1.7,M1的透过范围从300到9000nm,M2的透过范围从220到9000nm,M1和M2只能用电子束来蒸发.M1和M2在蒸发前就完全熔化,可镀在加热或未加热的基片上.膜层相当密集,并且暴露在空气中不湿气的影响。M3在500nm时的折射率为1.8.它的蒸发温度和熔化温度很接近,因此,必须小心的控制。M1,M2,M3的折射率受蒸发速率及氧气压力的影响很小,并且,即使在多次熔化蒸镀及不断的膜料补给的情况下,折射率仍相当稳定。M1,M2和M3的应用包括增透膜,分光片,偏光片等。
1 Q, T# K+ c- P: p6 X7 `$ SM1,M2和M3的应用$ H0 `8 k  v' r" s  Y& w( B
4 o4 ?' K# [# N' S
  M1,M2和M3的应用包括增透膜,分光片,偏光片等,实例如下:
3 b0 g% P/ r  b  o  M2十分合适和MgF2一起在接合的玻璃镜上组成分光偏振片。在折射率为1.52的玻璃棱镜上,当入射角为45度时,P的反射几乎消失了.此膜层特别适合于LCD投影系统中。
5 l! h( Q, i' F  膜层设计:1.52-(HL)10H-1.52(21层) L:MgF2,n=1.38? H:M2,n=1.7入射角为45度,设计波长为500nm,S在500nm时的反射为99.94%,P为0.005%.P在整个波段的反射小于0.01%(如图1)5 o; o$ P6 x8 `+ n; ?5 A4 B( h
  M2也十分适合在高折射率(n=1.625)的玻璃上镀宽带增透膜.最简单的设计是三层膜:基片(n=1.625)-1.7(λ/4)-2.1(λ/2)-1.38(λ/4)-1(λ0=510nm)反射曲线如图2所示.在415到660nm的波段上反射小于0.5%。$ K2 Z9 Q  Z# a9 p6 Z3 i
' E# }" u  v! j( S9 N

" J# X2 ^( X. d3 a# x- U图1
7 L! j# G2 [% O/ K( \ 8 z8 F* d7 W: d& `* j1 _: C3 G9 s9 y

% Y5 f/ d3 I# ]/ z' r
! b4 P+ ?  b2 n* m; ?4 v  M1在从近红光到近紫外的波段内有很高的透过率,在300nm时有吸收.它也能从熔化的状态下被蒸发,具有良好的同次性和均匀的膜厚.此物质适合于在高折射率的镜片上镀增透膜.图4显示了在高折射率(n=1.625)的玻璃基底上用Al2O3(n=1.65)M1和(n=1.7)的3层增透膜的反射曲线的比较.从中可以看出用M1的效果要好得多.
/ o* d% e: T9 M8 U1 P7 V3 t. h1 H# W4 c& J4 D3 B% I
  我们也可以仅用氧化物来镀增透膜.图5显示了用SiO2(n=1.46)和H4(n=2.15)的膜系,当然膜厚不再是简单的1/2或1/4光学厚度.有时候会需要很薄的膜厚,在膜厚和折射率上微小的变动都会有很大的影响,因此相对于经典的3层膜系来说要难得很多.从中可以看出,3层膜在中间波段有最低的反射率,但是4层膜C有着3层膜无法实现的从400到700nm宽广的低于0.5%的反射。( k4 H. f* _1 b1 E5 F8 i
8 h5 k0 K5 ~' Z3 ^, Z! ]7 a; l  F; Y& z
用于塑料基底的增透膜
2 I0 W8 B# D$ I9 G 7 J% B" w( D0 T
  在塑料基底上镀膜,我们无法在镀膜过程中加热基底.因此,我们必须在膜料的选择上倍加小心,以确保它能在低温下形成稳定的膜层.此外,由于温度偏低,折射率也随之变低,因此,相应的膜定的膜层.此外,由于温度偏低,折射率也随之变低,因此,相应的膜层设计也要改变.MgF2不能在低温下被蒸镀,因为只有在200℃以上的温度时它才能形成稳定的膜层。因此,我们只能选择氧化物来蒸镀。' @3 I1 H. h( W: Q8 [% ?$ f' m
  我们可以使用下列氧化物:
* n# |) h# q$ f7 v  H品名
. }; a5 P" S; T( Y" ~在塑料基底上的折射率" I' w  N' A1 [, Y& L
SiO2
$ j$ t: S3 w! B) m6 b/ J1.45: M! q2 i! t& i  M/ l
Al2O3
5 U. |1 `' t2 _( C) S, e) V0 P1.62
4 T1 I. m3 b2 G2 X  U9 A: S1 Z0 UM1
- K  k% W) G5 k; m% ]. @1.65
4 G7 _4 K# |) q' X2 ^8 _% t( [Y2O3
% V$ ]6 p' h- _1.8: H/ ~5 a3 P1 i% I3 D
ZrO2' G& C. P8 ^5 B% y6 ^+ p# h; b
1.9 - C( i: C  |; G; g% c4 M5 ]  r3 U: i
H1
) A6 ~+ S6 ~8 X1 g1.95
" Z$ X7 N0 P" vH4, R/ w" r# B! H( a+ |& v) z
1.95
$ Y7 _. s8 s3 K/ O+ WTiO24 [/ r6 ~$ G& u# D1 _0 \
1.9-2.0: P" M4 D6 J0 W( N' G
  H2不能在低温下被蒸镀,因为它在蓝光波段有吸收。$ G* j+ {8 s9 j+ m  P- y5 k* E+ M, o$ t7 }
  最常用的塑料基底是:7 o( g5 S$ e4 \8 v) D
品名' V5 x$ }' \+ I+ q4 S0 }: o# n
在塑料基底上的折射率
1 [8 H$ x- Y- u+ q0 N2 M- x" \) QCR39& W6 n8 x) P0 M) y% G# R- a) e3 J# E# Z
1.57 q- x+ |/ _5 j* n' f0 C1 ?/ ^' I
聚碳酸酯
# K: R5 W9 r. _1 K7 f1.59
! \% b% l7 I% X" D( I: wPMMA
( \/ G* x2 A4 e1.48-1.50
8 M2 c. h7 C3 M- x- ~  下图显示了由M1,H4T和SiO2组成的3层增透膜的反射曲线,在从390到750nm的波段上的反射率小于1%.同时,一个5层膜也被显示在图上作为比较落后,它的反射曲线在415到680nm的波段上反射率小于1%,并且在中间波段有相当低的反射率。
$ j, I' }2 {% \! b# u9 _( @; {$ [
  下图显示了由M1,H4,SiO2组成的3层增透膜在聚碳酯基底上的反射曲线,在从390到750nm的波段上反射率小于1%。同时,一个5层膜也被显示在图上作为比较,它的反射曲线的低反射段比较窄,但是在中间波段有相当低的反射率。. R- E& C$ [7 o. ]
发表于 2009-9-14 23:29:10 | 显示全部楼层
理论的找做磨料的就行
发表于 2009-11-3 11:56:47 | 显示全部楼层
gds 你太强了 111
发表于 2009-11-11 09:21:17 | 显示全部楼层
好东西哦i( D- w$ `1 `4 b& g
。。。。。。。。。
发表于 2011-5-15 18:23:58 | 显示全部楼层
学习中!!!!
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