电子枪加热多穴坩埚和无氧铜水冷套之间有水痕

fanyushan

各位大侠好，我前些天遇到一个现象，虽然解决了，但不知道原因是什么，大家都来讨论吧。

在沉积Ti3O5时，电子枪预熔时没有问题，镀膜运行一会儿，电子枪电流会逐渐减小停止工艺，同时观察到坩埚和底座（无氧铜冷却水套）接触的边缘处有很小的亮斑，就像将灭的灰烬，忽明忽暗，但电子枪和离子源都没有报警，重复工艺任然如此。打开腔体后发现有亮斑的地方有水纹状的东西，但又用酒精擦不掉，后来换了一个位置就ok了。
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. V3 w: i7 r4 Q$ C原因分析：1.冷却水套微漏（可能性不大）
$ Y' j' j/ a" B2 l/ l& `          2.坩埚和底座接触不好，冷却效果差（有问题的位置重新擦拭安装没有改善）

longmin

1.真空有無改變
$ S! k% v: f' E& T. Q9 Z( T0 j2 b   有變動的話才有漏

2.坩埚和底座用菜瓜布去除銅鏽
   或者更換新坩埚試同樣位置

fanyushan

真空没有什么变化，用酒精无尘布擦拭后没有解决，后来换了一个坩埚位置同时也更换了坩埚就好了，就是不知道原因是什么，所以拿出来讨论一下