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各位大侠好,我前些天遇到一个现象,虽然解决了,但不知道原因是什么,大家都来讨论吧。
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- g% @& o0 x' u, M在沉积Ti3O5时,电子枪预熔时没有问题,镀膜运行一会儿,电子枪电流会逐渐减小停止工艺,同时观察到坩埚和底座(无氧铜冷却水套)接触的边缘处有很小的亮斑,就像将灭的灰烬,忽明忽暗,但电子枪和离子源都没有报警,重复工艺任然如此。打开腔体后发现有亮斑的地方有水纹状的东西,但又用酒精擦不掉,后来换了一个位置就ok了。
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原因分析:1.冷却水套微漏(可能性不大)
: }+ a. Y" U0 t 2.坩埚和底座接触不好,冷却效果差(有问题的位置重新擦拭安装没有改善) |
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