1.064um和1.54um同时减反射的减反射膜

gds

设计对1.064um和1.54um同时减反射的减反射膜，已知Ng=1.52,θo=0.
: h6 X# T6 b) ?! Z7 i要求：R(1.064)<0.2%
1 d, S$ d1 ~9 @         R(1.54)<0.4%
给出这个器件的设计方案，膜厚监控波长

1 W7 T+ v( u- |) [
略解
: h; d0 r% c8 h6 V3 A1 I! \# T
在别的论坛看到的
1 m: B1 J+ h. c7 C# Q8 q, F7 X8 RH          89.30
L          51.67
7 o/ A4 k% \) O8 x0 i+ w8 z; ZH         130.10
! E' R2 U6 q$ f. _L         237.55
以上采用1/4λ波长控制，膜料为TA2O5和SIO2
( y; V4 w5 E( W0 Z2 p7 J膜料折射率为2.19和1.44

H代表TA2O5   L代表SIO2第一层720的光控一个极大值
第二层460光控极小值
( e: w2 [1 ], K2 f3 p第三层720的光控极小--极大回一点
9 W+ n8 Z6 p7 r2 T6 g第四层720的光控极小--极大

gds

我补上图

doctor

很容易设计出来的

duhui111

看上去很不错的设计实例，便于理解。

weimao_liu

设计是容易的，但关键还是镀制工艺。