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设计对1.064um和1.54um同时减反射的减反射膜,已知Ng=1.52,θo=0.
3 N. g% R+ V0 m/ _2 e要求:R(1.064)<0.2%
% _' W! w& C1 d, r6 ~. z R(1.54)<0.4%
! a3 i; a" T. q# d2 `+ K m给出这个器件的设计方案,膜厚监控波长# c4 W9 r* Z h2 A2 v' h& f( ?
5 l. S: W9 Y5 T8 f& g* D6 K3 P3 V& U7 o( L: L9 c; N
略解
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* U. {" W5 M6 F. Y在别的论坛看到的
( ^6 U+ M& m' |9 h8 l/ r% k1 ZH 89.309 s* l# @! f! { s. K7 \. @
L 51.670 j W( |$ P8 D9 P# K
H 130.10
" z/ E: f8 w$ Q2 N0 ?L 237.55/ P" W9 G4 W. N( g
以上采用1/4λ波长控制,膜料为TA2O5和SIO22 ^7 ]6 u% Z0 P6 b. m7 F: ?$ Y
膜料折射率为2.19和1.446 e5 ^$ j: @0 \" ~" L
% ?( n+ g) J0 t0 w; q. z& j3 sH代表TA2O5 L代表SIO2第一层720的光控一个极大值: @* Q6 w+ G4 |4 c
第二层460光控极小值
1 H) C) C8 |) ^; M d, H第三层720的光控极小--极大回一点2 m$ y) a4 v8 y0 \4 [4 s
第四层720的光控极小--极大 |
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