误删帖子：请教－－gds指导一下吧，看了你的帖子

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请教－－gds指导一下吧，看了你的帖子－ 龙飞
描述：显示结果
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, q+ c2 [  U$ P. {6 q9 o; d gds是好人，我想很多有志于薄膜设计的同仁都是他的受益者，现在我想请教一下，你不是发了一个帖子————“一个截至率光片的设计实例TFC 的设计步骤”
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* p! b9 {/ \$ v3 v, d膜系材料与公式－ 龙飞
描述：膜系材料与公式
图片：
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根据结果我算出透射光控曲线－ 龙飞

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3 u9 R% u) l8 @* z* P* w透射光控曲线参数设置－ 龙飞
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5 d  I: g0 d* X" U; K, b反射光控曲线怎么会这样呢？－ 龙飞
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5 r) D. h7 J8 N1 l4 _9 Q  ^现在不懂了
+ H! O5 n1 @% ~, A      我听说层数多的膜要用透射监控，层数少的膜要用反射监控，不知道为什么？  
) q" }0 _/ Y. f5 y7 b: W    我该如何把计算出来的透射光控曲线运用到实际生产当中去？就是说如何让镀膜机按照这个曲线进行光控镀膜，我这边用北仪机（镀不了很多层的膜），optorun1300镀膜机（可以镀比较复杂的膜）
  Z4 z, m) N' C( `    还有一个就是如何找到机台的光控Tooling，我是这样理解的，不知道对不对：  
根据计算出来的理论光控曲线进行镀膜，镀出来陪镀片拿去测出的光谱曲线，把光谱曲线代入TFC，与设计出来的理论指标曲线放在一起看看，看看差异在哪里，设置膜料TIO2和SIO2分别为组1和组2，再分别优化组1和组2，     这样就可以判定是哪几层多镀了还是少镀了，再把两个物理厚度相除一下，就得出了该机台的光控Tooling，再怎么把光控Tooling代入，来修正光控曲线呢？
    我描述得可能不完整，TFC说明书我都看晕了，哈|  
    gds,帮帮忙吧，最好附图，我知道这有些麻烦，     也恳求其他各位老师给予多多指导，     谢谢大家，祝大家生活愉快！    － 龙飞
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引用第4楼龙飞于2008-03-03 10:30发表的 反射光控曲线怎么会这样呢？ －gds

反射光控曲线怎么会这样呢？
  



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Re:现在不懂了
' K! ~- \) K$ f6 j# i& S8 l6 QQuote:
9 F/ ]! F8 L1 S$ m引用第5楼龙飞于2008-03-03 11:00发表的 现在不懂了 :
, A3 e0 X) j! U5 S7 d" D      我听说层数多的膜要用透射监控，层数少的膜要用反射监控，不知道为什么？
    我该如何把计算出来的透射光控曲线运用到实际生产当中去？就是说如何让镀膜机按照这个曲线进行光控镀膜，我这边用北仪机（镀不了很多层的膜），optorun1300镀膜机（可以镀比较复杂的膜）
# R, x/ p+ B: ]    还有一个就是如何找到机台的光控Tooling，我是这样理解的，不知道对不对：
( \3 J% l. _0 Y' H! Q# n! y根据计算出来的理论光控曲线进行镀膜，镀出来陪镀片拿去测出的光谱曲线，把光谱曲线代入TFC，与设计出来的理论指标曲线放在一起看看，看看差异在哪里，设置膜料TIO2和SIO2分别为组1和组2，再分别优化组1和组2，
    这样就可以判定是哪几层多镀了还是少镀了，再把两个物理厚度相除一下，就得出了该机台的光控Tooling，再怎么把光控Tooling代入，来修正光控曲线呢？
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1 c  [$ m: h0 k$ L+ M$ Z/ U. E  w反射与透射监控与层数关系不是很大吧,只要你机器比较片足够多,这个我不太懂,计算Tooling值有很多方法,可以利用光谱曲线计算实际膜厚,或着直接测量膜厚,如椭偏仪,与理论厚度相比即是Tooling值,大家一起学习,还请其他大虾指正.－gds