partical划痕怎么可以消除

zhi_ma · 发表于 2009-8-7 21:25:01

怎样消除partical划痕，最近镀增透膜时有大量partical划痕产生，有那位高手帮帮在下

gds · 发表于 2009-8-9 01:35:49

划痕具体什么样？
是应力产生还是基底本身原因，擦洗原因。。

yupo54 · 发表于 2009-8-10 14:22:34

没办法了，重做吧

zhi_ma · 发表于 2009-8-12 22:26:29

谢谢各位，基底没有问题、也不是檫洗原因，至于应力一直这么做没有出现，只是近来一个月才有，很多已经报废，大家想一下会不会是离子源、膜料（sio2)有问题大家给个建议，或者是其它方面的建议，一直找不到原因。

wandao008 · 发表于 2009-8-15 13:57:55

是partical还是划痕，我认为这不是一种疵病，要分别对待的。
partical：应该是点子，与真空环境、离子源、电子枪干净程度、SiO2材料（最好是进口的）等有关
划痕：一般是基底的细小划痕，镀膜后显现(不考虑膜裂)

zhi_ma · 发表于 2009-8-19 21:29:08

sio2是美国进口的,有做过一些电子枪对sio2熔融时间改变，但是效果不明显；真空洁净度符合要求，离子源、电子枪都还和以前一样干净；划痕可以排除。还是要感谢大家对我的帮助，我想求证：和离子源所充入的氩气多少是否有关？再次感谢！！！

gpx007 · 发表于 2009-8-19 23:38:23

首先要确定你是在什莫条件下进行的检验？

zhi_ma · 发表于 2009-9-11 21:55:05

这种缺陷去日本也没有检验出来，在大学的专门仪器也没有检出，还有其他高招吗

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