专利下载：用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法

xx_912 · 发表于 2009-8-6 05:42:07

[/free]一种在镀膜机的真空室内使用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法，其基本原理是：薄膜的几何厚度与光学厚度成一定比例关系，采用单独的监控片进行膜厚控制，在镀膜过程中使用挡板，使基片的膜料被均匀遮挡掉一定比例，而控制片的膜料不被遮挡，以实现控制片上的膜厚与基片上的膜厚成一定比例，控制片上的膜厚与监控波长相符，基片上的膜厚由监控波长与挡板的形状所决定，为控制片上的膜厚的几分之一，从而达到用长波做监控波长控制短波长薄膜制备的目的。本发明是利用现有镀膜机的光控系统进行的，可实现紫外薄膜的精确监控，提高了设备的通用性。[free]

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gds · 发表于 2009-8-6 09:16:20

不错的方法

doctor · 发表于 2009-8-6 10:51:34

不错的方法

longmin · 发表于 2009-8-6 11:38:44

真的那麼利害

aaron0930 · 发表于 2009-8-8 09:36:16

一定是個很棒的文章，可惜我沒錢 orz

uifntiio · 发表于 2009-8-25 15:09:56

这个问题啊

我是这么看的
其实楼主说的也有道理

pqrs088 · 发表于 2009-9-11 17:34:08

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ngfcaipiao · 发表于 2011-5-8 09:57:32

不错的方法！

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xx_912 xx_912 当前离线积分 421704 窥视卡雷达卡	发表于 2009-8-6 05:42:07 \| 显示全部楼层 \|阅读模式 [/free]一种在镀膜机的真空室内使用挡板镀制紫外波段光学薄膜的方法，其基本原理是：薄膜的几何厚度与光学厚度成一定比例关系，采用单独的监控片进行膜厚控制，在镀膜过程中使用挡板，使基片的膜料被均匀遮挡掉一定比例，而控制片的膜料不被遮挡，以实现控制片上的膜厚与基片上的膜厚成一定比例，控制片上的膜厚与监控波长相符，基片上的膜厚由监控波长与挡板的形状所决定，为控制片上的膜厚的几分之一，从而达到用长波做监控波长控制短波长薄膜制备的目的。本发明是利用现有镀膜机的光控系统进行的，可实现紫外薄膜的精确监控，提高了设备的通用性。[free] 购买主题已有 3 人购买本主题需向作者支付 20 RMB金钱才能浏览
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其实楼主说的也有道理

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