专利下载：一种用于激光晶体的光学薄膜结构及其制备方法

xx_912 · 发表于 2009-8-6 05:35:04

一种用于激光晶体的光学薄膜结构及其制备方法
本发明涉及一种用于激光晶体的光学薄膜结构及其制备方法，其特征在于：在传统的用于激光晶体的介质/金属的复合膜系之间增加了一层硬质薄膜缓冲层，其作用是增加介质-金属复合膜系的结合力，并提高复合膜系的抗激光损伤阈值，适应了大功率激光器的发展需要。所述的缓冲层薄膜是通过电子束热蒸发制备的，生长过程是首先将TiN颗粒及清洗后的衬底置于真空生长室中；将生长室抽真空；利用电子束照射TiN颗粒，同时在真空室中通入一定量的氮气或是氮离子，TiN缓冲层薄膜就会沉积到衬底上。本发明TiN 缓冲层可以显著提高复合膜系的结合力和抗激光损伤阈值，对于飞速发展的高功率激光器有着重大的理论和现实意义。　

longmin · 发表于 2009-8-6 11:50:57

謝謝樓主提供

aaron0930 · 发表于 2009-8-8 09:37:59

感謝大大呀
我最近一直在研究薄膜的技術阿

fanyushan · 发表于 2009-9-11 22:58:34

看那看那，哈哈

黄小羊 · 发表于 2009-10-8 22:24:29

一种用于激光晶体的光学薄膜结构及其制备方法0

wanghe · 发表于 2009-10-17 03:15:07

为啥要回复?

九门 · 发表于 2009-12-11 03:22:21

学习学习谢谢

cynical33 · 发表于 2009-12-16 11:21:04

有点奇怪，这也叫专利？看看

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