专利下载：室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法

xx_912 · 发表于 2009-8-5 21:14:26

[/free]室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法
本发明涉及一种室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法，采用射频磁控溅射法，以高纯度的ZnO粉末为原料制作的ZnO陶瓷靶材作为阴极溅射靶材；对溅射仪抽真空使本底真空度达1.0×10-4～1.0×10-5Pa；然后向溅射仪中通入氩气和氧气，使溅射气压为2.7Pa，调节靶基距为40～70mm；利用溅射气体氩气放电产生等离子体轰击ZnO陶瓷靶材，沉积在衬底基片上形成ZnO薄膜；对ZnO薄膜在气氛环境中经退火处理，得到具有室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜。本发明工艺简单，操作控制方便，此方法制备的ZnO薄膜适合于短波长发光器件的研究、开发，可应用于信息存储、光通信、医疗等领域。　[free]

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longmin · 发表于 2009-8-6 04:02:43

謝謝提供
謝謝樓主

fanyushan · 发表于 2009-9-11 15:01:41

看看先，哈哈

suishi732 · 发表于 2009-9-19 05:02:03

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