专利下载：室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法

xx_912 · 发表于 2009-8-6 05:14:26

[/free]室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法
本发明涉及一种室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法，采用射频磁控溅射法，以高纯度的ZnO粉末为原料制作的ZnO陶瓷靶材作为阴极溅射靶材；对溅射仪抽真空使本底真空度达1.0×10-4～1.0×10-5Pa；然后向溅射仪中通入氩气和氧气，使溅射气压为2.7Pa，调节靶基距为40～70mm；利用溅射气体氩气放电产生等离子体轰击ZnO陶瓷靶材，沉积在衬底基片上形成ZnO薄膜；对ZnO薄膜在气氛环境中经退火处理，得到具有室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜。本发明工艺简单，操作控制方便，此方法制备的ZnO薄膜适合于短波长发光器件的研究、开发，可应用于信息存储、光通信、医疗等领域。　[free]

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longmin · 发表于 2009-8-6 12:02:43

謝謝提供
謝謝樓主

fanyushan · 发表于 2009-9-11 23:01:41

看看先，哈哈

suishi732 · 发表于 2009-9-19 13:02:03

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xx_912 xx_912 当前离线积分 421704 窥视卡雷达卡	发表于 2009-8-6 05:14:26 \| 显示全部楼层 \|阅读模式 [/free]室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法本发明涉及一种室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法，采用射频磁控溅射法，以高纯度的ZnO粉末为原料制作的ZnO陶瓷靶材作为阴极溅射靶材；对溅射仪抽真空使本底真空度达1.0×10-4～1.0×10-5Pa；然后向溅射仪中通入氩气和氧气，使溅射气压为2.7Pa，调节靶基距为40～70mm；利用溅射气体氩气放电产生等离子体轰击ZnO陶瓷靶材，沉积在衬底基片上形成ZnO薄膜；对ZnO薄膜在气氛环境中经退火处理，得到具有室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜。本发明工艺简单，操作控制方便，此方法制备的ZnO薄膜适合于短波长发光器件的研究、开发，可应用于信息存储、光通信、医疗等领域。　[free] 购买主题本主题需向作者支付 20 RMB金钱才能浏览
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