溅射工艺对金属Nb薄膜微结构及红外反射特性的影响

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溅射工艺对金属Nb薄膜微结构及红外反射特性的影响     

. a1 m5 b3 }+ i5 T" J0 |- `8 N[会议论文] 周珑, 王聪, 杜心康, 陈步亮, 茹宁, 王天民，2006 - 第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会
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# P" S1 u# S2 Q7 `7 m" N$ o本文采用直流磁控溅射方法,改变溅射功率和溅射气压,在不锈钢基底上制备了金属Nb薄膜.分别采用XRD和傅立叶红外光谱仪对不同工艺参数下薄膜结构参数和红外反射谱进行了测试.讨论了工艺参数、晶体结构参数与红外反射特性之...