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新型卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜机# N( u9 e3 A; F) j4 ~& n5 @+ b6 B
朱刚毅腾胜真空技术工程有限公司,广东肇庆526060摘 要:作为光学镀膜设备中的新机型——卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜设备，是一种适用于圆柱型、圆锥型等带对称回转轴的工件外表面镀光学膜的真空镀膜设备，它解决了目前箱式光学镀膜机无法镀制这类工件的难题。[著者文摘] n0 `/ m$ T" u" L1 z* @, ~: z- h
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关键词:卧式 离子辅助电子束蒸发 直枪 光学膜3 J9 a$ O4 g* p6 {# o/ K5 c5 L3 U
分类号: TB79[著者标引]文献标识码：B文章编号：1002-8935（2005）06-0045-02栏目信息：工艺与应用
! i5 R. _7 X" d& h; ^& f8 L0 \相关文献:主题相关 |
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发表于 2009-8-2 01:11:07
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