新型卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜机

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新型卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜机
3 J  M; y' t  `2 k朱刚毅腾胜真空技术工程有限公司,广东肇庆526060摘　要:作为光学镀膜设备中的新机型——卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜设备，是一种适用于圆柱型、圆锥型等带对称回转轴的工件外表面镀光学膜的真空镀膜设备，它解决了目前箱式光学镀膜机无法镀制这类工件的难题。[著者文摘]
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# F9 p7 d6 z7 v+ }5 v0 Y/ ^* K, t1 t关键词:卧式 离子辅助电子束蒸发 直枪 光学膜
+ [  \, S: E2 e* ^& H分类号:　TB79[著者标引]文献标识码：B文章编号：1002-8935（2005）06-0045-02栏目信息：工艺与应用
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