用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统

zyp · 发表于 2009-8-2 09:00:57

用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统
徐祖华黄智伟朱慧玲南华大学电气工程学院，衡阳421001摘　要:设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统，采用三菱PLC和Easy View触摸屏，具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能。文中介绍了PLC控制系统软硬件结构，及抗干扰措施。

关键词:磁溅式三靶真空镀膜机控制系统 PLC 可编程序控制器电气控制系统金属化合物膜
分类号:　TG174.444 TM571.61文献标识码：文章编号：栏目信息：
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dyjaj · 发表于 2009-9-11 10:56:05

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zrk35 · 发表于 2010-1-13 03:05:24

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fanyushan · 发表于 2010-1-13 04:26:32

好东西呀，自己好好看看

zrk35 · 发表于 2010-2-1 00:24:19

学习学习哦!

sgh920 · 发表于 2010-3-11 19:29:34

谢谢楼主分享！

leicd · 发表于 2010-6-18 06:21:58

下来学习学习！！1

jjyytt · 发表于 2010-6-27 13:26:35

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lizhil · 发表于 2010-7-16 08:06:18

非常感谢LZ

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