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[转贴] 低温等离子体在薄膜工艺中的应用

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发表于 2009-8-2 00:53:19 | 显示全部楼层 |阅读模式
低温等离子体在薄膜工艺中的应用! {- I' s& t, ?' H

8 {9 j- M& I- v- |+ m5 C, u! O陈文浩摘　要:
# a( u! N- l3 i& k9 ~关键词:薄膜工艺 等离子体 低温% |5 |( {) o% Q' d- L; x. H
分类号:　O484.1文献标识码：文章编号：栏目信息：
: A8 A5 p1 M/ q& m: c相关文献:主题相关

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发表于 2009-8-2 01:40:52 | 显示全部楼层
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