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膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响
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[期刊论文] 《光学学报》 ISTICEIPKU - 2006年7期- 朱美萍, 易葵, 郭世海, 范正修, 邵建达, Zhu Meiping, Yi Kui, Guo Shihai, Fan Zhengxiu, Shao Jianda $ [5 M( E$ W$ J/ z/ \
& A! I) a; o* I( A- x- j借助于VC++编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响.结果表明,膜厚监控误差和监控片的不均匀性都对监控曲线有影响;随着膜层层数的增加,监控片不均匀性逐渐增大.实验制备了多层规整... |
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发表于 2009-7-31 01:45:23
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