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SCI美国科学计算国际公司9 T+ e+ o8 E7 _
薄膜测量 软件产品 及 仪器产品
' y5 w6 r+ K9 G- d网址:www.sci-soft.com
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SCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具.+ e& b- |& H: P
A) 薄膜测量/测试 软件! g! m2 y* F8 ^9 v6 l( c6 O* T* `
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一.FilmWizard (Optical Thin Film Software光学薄膜软件)
) R6 s& `8 z* V' d5 B1 q$ @3 R* GDesign设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏/ s) {5 J& p/ j8 v7 `
二.FilmMonitor(Monitor Deposition Software监视沉积软件)% B" p) i U2 u7 I6 t, \
三.FilmEllipse(椭偏数据生产线工艺软件包)' c+ K& D4 O" l3 Y4 c" r" M* S
FilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包) `( Z4 D4 m3 u7 |/ Q
+ a/ Y* F. W9 T; R9 q! F) BB) 薄膜测量 仪器
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6 J$ J# ]5 E* H- fSCI FilmTek 系列, 可测量:\+_Nq~
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Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^q\
2 Y% v! s" |+ v+ o& M- e- WMaximum Spectral Range 最大光谱范围##b
0 t4 p9 I4 ^9 C NStandard Spectral Range标准光谱范围F
9 P' q+ a' C u# W$ [( mReflection反射测量,
3 Y' Y! u8 K2 c' j9 PTransmission透射测量5wIBS\
& M- o' \ Z. z6 q; vOptional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY7 {0 ^/ i0 B+ }# q8 B
Power Spectral Density功率谱密度测量a9 t' Y; g8 L4 n: X2 P( R
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量Y8 A5 w% g, M' M3 S: l' I
Both TE & TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量gS|p]3 `& x: I- f. Q$ w) k, M. n
Index of Refraction折射系数测量~c=]o%
3 S1 l, A! m, d2 ` eExtinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数:{P]F
- ~! ]! |) X0 n* o9 i; EEnergy band gap能量带隙测量U4r[n
0 t8 k. r& V5 w# RComposition成分测量c*'nh): K5 h }$ c( C
Crystallinity晶状测量DTE;3 y. P# N4 E7 s: w9 X9 f0 V
Inhomogeneous Layers非均匀层测量}KF 7 c, t5 { F1 S& p R: ~! Z
Surface Roughness表面粗糙度测量L"
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©德州大学奥斯汀中国学生学者联谊会 -- The University of Texas at Austin Chinese Students and Scholars Association Web Forum ", |' V9 m; e H) t( T' }& a
Typical applications典型应用
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OLED有机发光二级管薄膜
! g9 M- g$ q; o5 r3 @" }: SFlat panel display平板显示器薄膜: i" k: y9 h; A5 b' T" s
Semiconductor and dielectric materials半导体和电介质材料薄膜% h8 A( U# x; u% t
Computer disks计算机磁盘薄膜
' h* O5 D6 Q' g+ l6 _Multilayer optical coatings多层光学涂层薄
# C- k2 T% F3 c% i2 @Coated glass有涂层的玻璃薄膜>nU3
: C5 {5 a* H5 D0 w% AOptical antireflection coatings光学抗反射涂层薄膜
8 |! O" g1 @* b% R" e& NLaser mirrors激光镜薄膜Op)`" N' G) U8 E" m: ]9 ^
Electro-optical materials电镀光学材料薄膜
& L2 T: Q6 Z8 L4 I+ K8 ?. `Thin Metals薄金属薄膜6e4,iC
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