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薄膜测量 软件产品 及 仪器产品) U' U+ R9 @, v4 o7 X7 `! G
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SCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具.
6 b' i4 q8 \) e( W9 }A) 薄膜测量/测试 软件
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; o4 h$ Q7 Z$ v4 k; {* C6 m9 W6 x一.FilmWizard (Optical Thin Film Software光学薄膜软件)
7 H. ?" O: R) ^% @0 SDesign设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏
! l8 N( r& w2 q4 u二.FilmMonitor(Monitor Deposition Software监视沉积软件)
7 K8 Q. v' [, _6 i1 l+ u三.FilmEllipse(椭偏数据生产线工艺软件包)
- h: G9 C0 [! qFilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包
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% p# g7 M F: F# G+ c$ ~B) 薄膜测量 仪器
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" B& O: y& C' K2 a" R; iSCI FilmTek 系列, 可测量:\+_Nq~
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" f; i! U Z5 I; T+ vIndex of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^q\# a' N4 i# ]( ~; ~+ \. k
Maximum Spectral Range 最大光谱范围##b
) o' E& h( c. |; s# T9 \. C0 bStandard Spectral Range标准光谱范围F
- E5 ?2 C% d$ r2 s. wReflection反射测量,
+ Q5 {- X: K! e; f; D2 GTransmission透射测量5wIBS\+ E& x+ [% q& B6 l5 P7 C! n9 B# l
Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY
8 W, u0 ?5 m( I$ d" u, GPower Spectral Density功率谱密度测量a$ Z! ^6 s4 u, i" d/ G' g
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量Y
; V0 Q1 E, D+ ]$ c7 ~: g8 GBoth TE & TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量gS|p]
1 h% n R% E! Q# a/ g3 l( v# @Index of Refraction折射系数测量~c=]o%, n U \9 @, A! k+ b8 ~& b
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数:{P]F
9 n; {9 w+ D, B; J! nEnergy band gap能量带隙测量U4r[n. ?. f" H+ ~7 c8 @1 i' B s# g
Composition成分测量c*'nh)
, [, v: p5 t# M* X- l" ]Crystallinity晶状测量DTE;" |4 k0 v7 U8 d* ^. o
Inhomogeneous Layers非均匀层测量}KF $ J4 k$ w5 l6 H h7 `7 ?" n
Surface Roughness表面粗糙度测量L"
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! a1 H0 E$ L9 ]4 a6 I©德州大学奥斯汀中国学生学者联谊会 -- The University of Texas at Austin Chinese Students and Scholars Association Web Forum "/ O5 ^; `* G) p) W* n; I9 g
Typical applications典型应用
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OLED有机发光二级管薄膜/ L- y6 t& ^- y1 G' O9 {
Flat panel display平板显示器薄膜
* @$ q5 X3 \+ ~Semiconductor and dielectric materials半导体和电介质材料薄膜* G- r/ J: T2 F. a9 I5 d& T
Computer disks计算机磁盘薄膜' m& _" g' {* L2 Q
Multilayer optical coatings多层光学涂层薄
% \/ {6 K. c" g2 H7 bCoated glass有涂层的玻璃薄膜>nU3
a O8 {" j2 L% L2 ^Optical antireflection coatings光学抗反射涂层薄膜4 d6 Z% @$ C. Z0 A* X4 W% B" n8 n$ i
Laser mirrors激光镜薄膜Op)`2 H4 O6 y9 \5 T
Electro-optical materials电镀光学材料薄膜
^1 ?* C3 k/ ~- t* Z& v1 s' ]Thin Metals薄金属薄膜6e4,iC
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# {8 Y4 L2 N: g4 P详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下:
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