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% H) r$ z$ B2 U4 Q$ BSCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具.- s( [, ?! e( J1 c6 @4 s
A) 薄膜测量/测试 软件
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3 c9 ]& y' x; q8 t8 h一.FilmWizard (Optical Thin Film Software光学薄膜软件)6 {9 @2 N2 G+ |0 o
Design设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏
' ^9 ]3 E# ]* h6 ]3 R# [, |( [二.FilmMonitor(Monitor Deposition Software监视沉积软件)
* T6 Z8 H$ W2 ~* o/ {* T9 r( r2 l三.FilmEllipse(椭偏数据生产线工艺软件包)2 E1 }$ `% P! b5 {
FilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包
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B) 薄膜测量 仪器# @; l8 P1 \0 d* V1 H5 R
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SCI FilmTek 系列, 可测量:\+_Nq~
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+ ~( Q( h( `# DIndex of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^q\# e; \2 f% i0 k$ t: t
Maximum Spectral Range 最大光谱范围##b0 F: V0 {' i( G* \
Standard Spectral Range标准光谱范围F
2 k0 \/ P$ C) |3 v& C; UReflection反射测量,! n! a7 |. U. o6 \" l$ [7 w
Transmission透射测量5wIBS\( H( G% {" w0 r3 S O
Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY
7 B/ H+ h: A9 _8 O5 p1 dPower Spectral Density功率谱密度测量a/ o. k( y D/ c; ]# j* t% }
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量Y9 i- A9 G* O2 l2 `* F; o- z1 L9 z
Both TE & TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量gS|p]3 w% C2 P) ] o
Index of Refraction折射系数测量~c=]o%
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3 `4 p. I1 _4 ^0 N; b' HCrystallinity晶状测量DTE; M* ~2 O. a) S6 R" j' G$ ^
Inhomogeneous Layers非均匀层测量}KF
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4 f/ c5 }$ D& |9 }# h3 |©德州大学奥斯汀中国学生学者联谊会 -- The University of Texas at Austin Chinese Students and Scholars Association Web Forum "+ t q* e, Y, h/ _
Typical applications典型应用
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Flat panel display平板显示器薄膜8 H# k# k+ J8 R2 s' T% C2 \ ^* W
Semiconductor and dielectric materials半导体和电介质材料薄膜
5 j! O8 L* q7 ~$ f) c- r% o3 VComputer disks计算机磁盘薄膜
" F* k1 ~1 v K& WMultilayer optical coatings多层光学涂层薄1 b2 U( C( F( }- V
Coated glass有涂层的玻璃薄膜>nU3
7 P/ ]7 \! c( q1 zOptical antireflection coatings光学抗反射涂层薄膜
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Electro-optical materials电镀光学材料薄膜7 I, y7 ^5 W* B4 f+ P- }: {
Thin Metals薄金属薄膜6e4,iC$ Q2 ^% k$ j+ C* l' t
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