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用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析
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(天津大学物理系)
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徐玉兰
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吴亚非6 u4 h% ]+ N+ ~% G! o, H
(天津大学物理系)
5 a. P/ z5 S! B9 G+ R5 z9 o摘要
0 F+ r3 B' o, U8 E3 H, u3 M摘要:分析了国产6JA 型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果./ q. o5 D* @ ~5 V1 n5 v0 Q- O
关键词:干涉显微镜,薄膜,厚度,波长,误差.
+ T+ ^: S6 A% f' m中图分类号: TH742 |
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发表于 2009-7-22 18:19:39
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