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用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析# R( y* v: {, H9 a1 z8 b
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摘要3 F4 Y) f6 o* u$ ]1 ?
摘要:分析了国产6JA 型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果.& u: n; n, w# J8 r
关键词:干涉显微镜,薄膜,厚度,波长,误差.$ R, @9 ?* c% q6 y' E% ^$ t
中图分类号: TH742 |
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发表于 2009-7-23 02:19:39
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