用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析

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用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析
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(天津大学物理系)
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1 B# R% ~4 k" g. p" G5 K0 R6 Y摘要:分析了国产6JA 型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果.
关键词:干涉显微镜,薄膜,厚度,波长,误差.
中图分类号: TH742

北方孤鹰

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