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用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析 a; _3 n! w; u
周佩瑶2 C5 X; W( f8 l2 H
(天津大学物理系)) w/ N. p7 g+ ~# g2 k, K
0 w* |/ }" t' Y8 b4 y2 K
徐玉兰
, M1 t$ B- C3 V; y5 V3 I(首都师范大学)
2 q2 v2 x) J% S0 d: b) u9 c: u
0 d) N6 E; j+ t2 w- g" Z9 O吴亚非
4 j2 y( X. j e! x( ^9 V$ N(天津大学物理系)
6 e! ^2 ?; G5 K5 ^: Z, s; e摘要% X; F3 l' k/ N* ]/ z# w
摘要:分析了国产6JA 型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果.
5 l+ @/ m0 J7 M4 E* k& l关键词:干涉显微镜,薄膜,厚度,波长,误差.
9 x% f. ^, `# ~& X中图分类号: TH742 |
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发表于 2009-7-23 02:11:12
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发表于 2009-11-2 07:06:24
