硕士学位论文:超大面积减反射光学薄膜的生产工艺及性能研究

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上海大学
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硕士学位论文:超大面积减反射光学薄膜的生产工艺及性能研究

　

姓名：
姚丽峰
' `" N) ?" D8 x& i/ J+ Q  k1 \申请学位级别：
) \! [. I3 o. X7 M" r: u: ?  M 硕士
专业：
+ c1 C* G1 J) I4 G9 v/ u/ z. k: T 物理化学
- H* T8 {: E2 s' t! j. ?. D& L指导教师：
郭景康
+ ]4 B  z* m; B5 [  [. D 摘要
在现 代 光 学薄膜生产中，减反射薄膜是所有类型膜系中产量最大的一种，
但是常用的制膜方法，如物理气相沉积及化学气相沉积等，制备大面积减反射
薄膜成本较高，同时所生产的薄膜大多为多层膜体系，工艺较为烦琐，且所用
基底材料大多为玻璃、石英或硅片，应用受到限制。本文分别配制TioZ和51姚
0 l% t1 m, A- X* M! K溶胶，并以此为原料采用涂布法在超大面积PET薄膜上制备减反射光学薄膜。
9 o* _7 w5 v2 i; V研究过程中，用球磨法配制TIO:纳米粉溶胶，研究了影响球磨效果的因素。在
用溶胶一凝胶法配制TIOZ和5102溶胶研究中，讨论了配制过程中影响高折射率
+ x& S3 ]5 ?$ C7 m9 y8 L. K溶胶稳定性的因素。分别用甩膜法和提拉法制备Ti02一510:膜系减反射光学薄
膜，确定了合适的制备工艺，为涂布法制备超大面积减反射薄膜奠定基础。最
: p1 z2 G/ L1 _% d后，用涂布法在超大面积基底材料上制备得到TINx一510:膜系光学薄膜，测试表
3 F" x3 x# U& R- y6 X8 ~, O明其减反射效果优于美国公司同类产品。由于成本低廉，工艺简单，操作方便
9 `1 t* w4 R7 _7 _- [可批量生产，且其性能优良，该研究结果有望推进减反射薄膜的工业化进程。

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