硕士学位论文:超大面积减反射光学薄膜的生产工艺及性能研究

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上海大学
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硕士学位论文:超大面积减反射光学薄膜的生产工艺及性能研究
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* X2 g1 y- V$ {9 M; |: Q　

姓名：
姚丽峰
申请学位级别：
& w% t9 u5 K+ z4 I% V' J6 q  K  j* V 硕士
专业：
物理化学
指导教师：
4 ]3 U% m4 S% ~" |8 p 郭景康
/ v  b2 z0 r# u' ]" s$ B 摘要
在现 代 光 学薄膜生产中，减反射薄膜是所有类型膜系中产量最大的一种，
, H- x8 N9 D0 S2 Z  t但是常用的制膜方法，如物理气相沉积及化学气相沉积等，制备大面积减反射
6 n8 N6 |! o6 ^薄膜成本较高，同时所生产的薄膜大多为多层膜体系，工艺较为烦琐，且所用
* ?" c* v1 h& N) \, q4 z基底材料大多为玻璃、石英或硅片，应用受到限制。本文分别配制TioZ和51姚
7 Y/ @/ d# b% Q% W( k" a溶胶，并以此为原料采用涂布法在超大面积PET薄膜上制备减反射光学薄膜。
研究过程中，用球磨法配制TIO:纳米粉溶胶，研究了影响球磨效果的因素。在
# z: C) D4 I6 z; P+ p用溶胶一凝胶法配制TIOZ和5102溶胶研究中，讨论了配制过程中影响高折射率
溶胶稳定性的因素。分别用甩膜法和提拉法制备Ti02一510:膜系减反射光学薄
膜，确定了合适的制备工艺，为涂布法制备超大面积减反射薄膜奠定基础。最
' F" I" S8 A+ [% A; ^后，用涂布法在超大面积基底材料上制备得到TINx一510:膜系光学薄膜，测试表
9 t5 \$ Y' W+ N) V, r- o明其减反射效果优于美国公司同类产品。由于成本低廉，工艺简单，操作方便
/ d& \) _8 X1 p3 U8 Z; Q可批量生产，且其性能优良，该研究结果有望推进减反射薄膜的工业化进程。

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