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上海大学
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硕士学位论文:超大面积减反射光学薄膜的生产工艺及性能研究, V" I/ d9 X: M6 i
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. k) v4 c- r% M; Y2 D% M姓名:
1 Y5 O$ @4 {' ~/ H' S' y- \ 姚丽峰 , b' ^4 B4 B0 |0 `9 u
申请学位级别:
0 k! i; J# @5 J- U8 Y 硕士
1 M+ T7 s1 U& _& r+ @' u$ k" A专业:
& x+ ~, J7 m ? l6 d 物理化学 + E' s# [' T3 d' P7 F* c: l, f
指导教师:* t E5 M9 S9 [; c3 {5 X. }; w
郭景康
" P. T9 l6 j$ g6 R 摘要
. J0 C# D4 w7 N& h在现 代 光 学薄膜生产中,减反射薄膜是所有类型膜系中产量最大的一种,
7 ^& w) Z; O: M1 g4 L但是常用的制膜方法,如物理气相沉积及化学气相沉积等,制备大面积减反射
* }, P' R- Z; u% E" B! I$ ?薄膜成本较高,同时所生产的薄膜大多为多层膜体系,工艺较为烦琐,且所用, j5 R/ S; O# O8 @( S
基底材料大多为玻璃、石英或硅片,应用受到限制。本文分别配制TioZ和51姚* f- `$ ~" M; V- U! Y9 |8 E
溶胶,并以此为原料采用涂布法在超大面积PET薄膜上制备减反射光学薄膜。8 C _$ @7 Q$ C/ h* J7 v2 I3 v
研究过程中,用球磨法配制TIO:纳米粉溶胶,研究了影响球磨效果的因素。在
0 \0 Y. J$ ~& `! d, O用溶胶一凝胶法配制TIOZ和5102溶胶研究中,讨论了配制过程中影响高折射率' \6 e# N% J1 v0 l$ `" }5 j- {0 M+ a0 i+ |
溶胶稳定性的因素。分别用甩膜法和提拉法制备Ti02一510:膜系减反射光学薄1 Q$ o5 z0 v8 f. ?9 Y# B
膜,确定了合适的制备工艺,为涂布法制备超大面积减反射薄膜奠定基础。最
/ v7 D$ L% m p) A9 z) ^后,用涂布法在超大面积基底材料上制备得到TINx一510:膜系光学薄膜,测试表6 O# f) {9 M' u5 I5 K( D7 p- j, G( l
明其减反射效果优于美国公司同类产品。由于成本低廉,工艺简单,操作方便* v/ X; V; u- K
可批量生产,且其性能优良,该研究结果有望推进减反射薄膜的工业化进程。 |
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