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[原创] 用macloed计算膜层的光学参数

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发表于 2009-7-16 20:37:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
[sell=1,]基底:glass   折射率1.54        膜料:Ti3O5     充氧气# V# h  g- Q- N. k% i
5 w, W) d. z; t0 R4 T
原始数据和结果都在文件中
& [9 ^, D; {, l- [2 |9 g* Z# c
; n8 f: j) _. N9 G- M大家共同探讨,看有没有更好的方法

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 楼主| 发表于 2009-7-16 20:40:04 | 显示全部楼层
由于设备的原因,膜厚大约为中心波长的5/4,并且波段为400nm-700nm
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发表于 2009-7-16 23:50:34 | 显示全部楼层
为了让数据更加准确,可以把薄膜镀厚点,多几个极值,一般同一个工艺做2-3次,膜厚最后取平均值即可。
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 楼主| 发表于 2009-7-17 17:35:11 | 显示全部楼层
谢谢楼上指点
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 楼主| 发表于 2009-7-17 17:37:31 | 显示全部楼层
不过,在计算时根本不用输入与膜厚相关的数据,为什么还取膜厚的平均值?
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发表于 2009-7-26 02:53:52 | 显示全部楼层
谢谢楼上指点
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发表于 2009-7-31 19:32:35 | 显示全部楼层
感谢大家的有效讨论
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QQ
发表于 2009-8-24 14:45:59 | 显示全部楼层
大哥。学习一下5 v8 q! `  B. a( k! L5 z4 ~
交流交流
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QQ
发表于 2009-8-24 14:51:00 | 显示全部楼层
学习一下
/ [4 [4 b/ e& ?$ T6 C) ]# ]- a交流交流
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发表于 2009-8-24 16:24:17 | 显示全部楼层
这种方法只是计算N值,K值是不准确的,比较准确的应该T、R的数据同时输入计算,单纯N值计算,使用R数据应该比
/ v: ?9 U$ a1 |' @& jT数值准确。
) Z1 ~# X+ M, s2 y& Y以上只是我个人的观点,共同交流讨论。
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