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[原创] 用macloed计算膜层的光学参数

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发表于 2009-7-16 20:37:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
[sell=1,]基底:glass   折射率1.54        膜料:Ti3O5     充氧气
. Q" R/ F- K/ X# I1 Q9 [2 V1 i/ d* a, |/ t- O  \$ u* F- e' p  G
原始数据和结果都在文件中
. Z% ?! I5 y, ^' M/ K) K9 h- ?5 g: S
6 R' z! l5 o) ^  _& p大家共同探讨,看有没有更好的方法

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 楼主| 发表于 2009-7-16 20:40:04 | 显示全部楼层
由于设备的原因,膜厚大约为中心波长的5/4,并且波段为400nm-700nm
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发表于 2009-7-16 23:50:34 | 显示全部楼层
为了让数据更加准确,可以把薄膜镀厚点,多几个极值,一般同一个工艺做2-3次,膜厚最后取平均值即可。
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 楼主| 发表于 2009-7-17 17:35:11 | 显示全部楼层
谢谢楼上指点
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 楼主| 发表于 2009-7-17 17:37:31 | 显示全部楼层
不过,在计算时根本不用输入与膜厚相关的数据,为什么还取膜厚的平均值?
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发表于 2009-7-26 02:53:52 | 显示全部楼层
谢谢楼上指点
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发表于 2009-7-31 19:32:35 | 显示全部楼层
感谢大家的有效讨论
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QQ
发表于 2009-8-24 14:45:59 | 显示全部楼层
大哥。学习一下
+ L/ s: R6 {' d( J8 [4 q交流交流
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QQ
发表于 2009-8-24 14:51:00 | 显示全部楼层
学习一下# Q5 C2 }, {3 _+ ^: U) z" R
交流交流
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发表于 2009-8-24 16:24:17 | 显示全部楼层
这种方法只是计算N值,K值是不准确的,比较准确的应该T、R的数据同时输入计算,单纯N值计算,使用R数据应该比
. K7 }: G: \6 s6 ~# W* {T数值准确。
6 I; L  H4 s9 @  S3 u. u8 [以上只是我个人的观点,共同交流讨论。
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