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减反膜制备工艺及其应用 ( ?8 f! y3 x* v" E, L [0 N
2 k" ]8 ^+ W& {9 m作者： 罗海燕, 华南理工大学电信学院 广州 510640 黄光周, 华南理工大学电信学院 广州 510640 马国欣, 华南理工大学电信学院 广州 510640 朱建明, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060 戴晋福, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060
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会议名称： 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会 . A7 e' Y4 a; v. }* {
; b' v3 Q& g9 A$ u; V' F% u主办单位： 中国真空学会 广东省真空学会 % ~1 L3 @9 w, K: D9 D+ T5 R$ I
, C8 _! Y& I+ r3 K& d. f会议时间： 20071209
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6 I: c- X _; H+ D! I会议地点： 广东东莞 + @ K: b7 u$ G5 B
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母体文献： 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会论文汇编
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出版时间： 20071209 , {: B8 }. d. l
$ j2 u/ a: P7 B- P页码： 53-57
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关键词： 光学薄膜 减反膜 制备工艺 真空蒸镀 溅射镀 0 C* {1 m! ^* _ R
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摘要： 减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位，其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外的研究现状，叙述了几种不同的减反膜制备方法，分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点，如真空蒸镀、溅射镀和溶胶-凝胶等，提出了相应的改进方法，并分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景。 ; T. _8 \$ y B- Q- [
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发表于 2009-7-2 12:44:59
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