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减反膜制备工艺及其应用 6 g8 y, A0 d% t6 {
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作者： 罗海燕, 华南理工大学电信学院 广州 510640 黄光周, 华南理工大学电信学院 广州 510640 马国欣, 华南理工大学电信学院 广州 510640 朱建明, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060 戴晋福, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060
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会议名称： 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会
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0 x* p# R- Q, d. ?6 N主办单位： 中国真空学会 广东省真空学会
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会议时间： 20071209 1 I+ N/ }! g' u! ~
4 R8 U2 [2 Z6 L: ^. o会议地点： 广东东莞 9 }: D6 e i e; o- |" j7 ?1 C. R' K
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母体文献： 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会论文汇编
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! _2 Q1 n! {/ {# W/ X+ A$ ]出版时间： 20071209
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. Q8 d' ~: I3 j8 F# ?页码： 53-57 7 R' m5 _8 @- z9 U& U& w
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关键词： 光学薄膜 减反膜 制备工艺 真空蒸镀 溅射镀 C+ q% P+ V6 ~' c: |1 D
( J1 s' Y2 x. n3 R摘要： 减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位，其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外的研究现状，叙述了几种不同的减反膜制备方法，分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点，如真空蒸镀、溅射镀和溶胶-凝胶等，提出了相应的改进方法，并分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景。 - ^2 N. y" X9 Z* g
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发表于 2009-7-2 04:44:59
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