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减反膜制备工艺及其应用
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, N2 q( A9 t( y作者： 罗海燕, 华南理工大学电信学院 广州 510640 黄光周, 华南理工大学电信学院 广州 510640 马国欣, 华南理工大学电信学院 广州 510640 朱建明, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060 戴晋福, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060 1 u% V( z0 Q7 I' o$ ^* h Y
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会议名称： 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会
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' }' J; X! n3 }! C! p; o主办单位： 中国真空学会 广东省真空学会
' y( p0 P+ L* |3 d; [ . A& Z( S3 m5 ?1 @" c, n, S* n2 X
会议时间： 20071209
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会议地点： 广东东莞 % ^5 e3 Y$ x% L2 P+ E# ~2 G
9 F' u& y* e. `' i% r母体文献： 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会论文汇编
: K. r5 E: o2 c; H. H# D
_! b) y! a, Z4 x8 G) X出版时间： 20071209
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- F" y# F$ C& Q& q, J# |; \页码： 53-57
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关键词： 光学薄膜 减反膜 制备工艺 真空蒸镀 溅射镀 6 v5 o( W/ G- X* u) b- ~: L; W: [
0 x' e" ~9 X9 }, T i3 O/ a摘要： 减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位，其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外的研究现状，叙述了几种不同的减反膜制备方法，分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点，如真空蒸镀、溅射镀和溶胶-凝胶等，提出了相应的改进方法，并分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景。 8 b/ E ? h8 I& a# e9 G9 |( v! e
) v- ?4 ?( z) }& l! j2 s2 q' y4 {" z 4 i/ l' [7 @2 G1 L0 B9 A( D
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发表于 2009-7-2 04:44:59
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