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减反膜制备工艺及其应用
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7 U7 X2 X8 e% D3 g4 l作者： 罗海燕, 华南理工大学电信学院 广州 510640 黄光周, 华南理工大学电信学院 广州 510640 马国欣, 华南理工大学电信学院 广州 510640 朱建明, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060 戴晋福, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060 $ _; D' i( i6 Q- ~$ X: R1 H
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会议名称： 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会 + N/ |: }$ i/ E# r- Y
- U7 c3 j1 V2 S主办单位： 中国真空学会 广东省真空学会
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会议时间： 20071209 4 d0 Y/ _5 U$ ~/ s
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会议地点： 广东东莞
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7 ~5 Q& n7 E, N1 e母体文献： 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会论文汇编
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% z" K2 M& `5 V* K出版时间： 20071209
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页码： 53-57 7 X% R) {+ c% T! c1 M7 U: E
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关键词： 光学薄膜 减反膜 制备工艺 真空蒸镀 溅射镀
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. Z$ g& x O, _摘要： 减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位，其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外的研究现状，叙述了几种不同的减反膜制备方法，分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点，如真空蒸镀、溅射镀和溶胶-凝胶等，提出了相应的改进方法，并分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景。
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发表于 2009-7-2 04:44:59
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