硕士论文：激光薄膜光学常数和膜厚均匀性的研究

hgd0302

支持楼主分享

hhjj123

看着题目挺不错的

wandao008

不错，非常感谢

zhangin

的确很恼怒

dearyln

学习学习，看看怎么样

黄小羊

参考一下子，看看如何

@薄墨迹书@

　1、玻义尔定律
3 L9 P: v# b! Y# r1 m. T3 K) ?9 n$ L/ K0 {# P
2 U% j  t% c! u( P) I体积V，压强P，P·V＝常数
' D, |7 j( e9 m; F" R1 e% s' `, c" a9 u# U# }2 X一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。 & j8 ^: l' w1 M. O& p% d/ z' b  o& V
即P1/P2＝V2/V1
* K. i' |! o% z2 B" [, u$ L' R; x0 g% ]+ _0 V  E
7 ^8 Z7 g3 a+ z$ l2 Y8 y! f9 |; ~- q2 D# y2 F8 k
　　2、盖·吕萨克定律 5 b1 S' |, c6 ~" x

) R) z/ H3 x, g. _4 R3 n2 o: a) [: r$ Z) v6 A0 ]当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比： " M. [& N) [/ F! r9 j* \9 s6 l+ H
V1/V2＝T1/T2＝常数
; p. D- t; z9 j4 l# W! Y& S4 F# y( e/ R当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩 9 N! Y3 R2 s9 O& t1 A
) j4 F% N9 g: L2 `5 _9 t" ~2 Q小)1/273。 5 q7 Z" ~! u. p# x7 e6 X

' ^0 l7 _2 \: @0 |! G# |' L$ c5 z4 v9 ^  N& {
* J9 x( c9 ^, A　　3、查理定律
4 }1 f6 O! F/ p4 F5 S* b$ ]! C" W2 K' x& i) {* l) m7 f2 m
当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：
# X8 i/ O* s5 ]4 QP1/P2＝T1/T2
0 d7 k6 g+ m* d4 X: [- S( G2 R+ z在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减
% \; X/ C! P, {8 o3 C少)1/273。
. t- k' ?: j, x7 ~& G* @; j: ]2 m2 X$ _. ]; V2 \3 g+ i. y  v1 G, r
. l. g6 l3 N' x1 P( X
( U! o) P" x1 ?; J* W) ^7 R, ]/ [" V. B4 P; U6 C/ n5 T( P5 J# J　　4、平均自由程： / [: h6 |" o/ K$ Q

- @. N% @! s% wλ＝(5×10-3)/P (cm) ! |3 v$ @" \5 C0 V( Y9 U

( c0 U5 y" y6 N9 V3 `; V8 W+ ]) t7 \% X
　　5、抽速： * h+ x" p- [# v9 L5 D0 a0 v
& p2 v( y" O: E$ j% x

1 L( |( j, |* w) y8 n) r: I6 t. ?( r) [S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P
0 [( J3 ^6 y7 e; ~$ W: K6 ?0 d% N" b3 h  t% Q/ j2 ^Q＝流量(托·升/秒) P＝压强(托)　　V＝体积(升) t＝时间(秒)
/ F- A* ~8 p; n* _8 V( |+ O( G( [5 c; Q- x  u
$ Y5 A8 [1 ?8 l9 S  Q  I0 A3 h- q! u2 }  E( g
# E( l, |8 ?7 o6 Y　　6、通导：: c$ j9 I3 p/ j
; V2 G! m- n8 p; U9 Z6 ?0 ~
1 W' E: l4 _; N" o- ?& N6 I& q3 `5 I5 m" g, |( D8 x6 U3 a+ J
C＝Q/(P2-P1) (升/秒)
' B: ^5 p( D0 |/ L# h6 k0 ?$ k( b+ z3 q# j% G5 [9 C8 ]' Q( I  V
3 j' V$ X9 c1 i6 Z& r2 O5 H; R# E2 L2 o
　　7、真空抽气时间：
1 |0 o0 m" P2 T( O4 u; E& Y" a7 b% ]7 e! [6 W9 S7 j: [9 T
& k4 L4 z8 E# u, C( T9 R) \$ o. W对于从大气压到1托抽气时间计算式：
( [; {5 N5 G" ut＝8V/S (经验公式)
. X/ w# C) _; A( E4 G4 T/ g. h. C! s  w3 gV为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。
8 P) D+ C$ n% e& _5 @; B: {4 E
( J/ K# F% C" k5 g+ p  w4 v$ B  H5 j% g( q: |3 |. r
: @5 m6 |( w' }; r- F( k0 g& f! a! T# |　　8、维持泵选择： ! _7 n( W) S# H) N; P1 m8 [' p  A
) s$ v7 O) H7 e. P9 Y2 A
S维＝S前/10
% G2 h3 V) u7 s3 u
! O' {0 e" W0 u  |/ }: N0 e6 ?4 ]! g2 v6 i
　　9、扩散泵抽速估算： . H8 f* q5 ?9 q6 n7 @) h6 q/ O
+ K9 ?; C' ]+ L* T/ ^  q2 r5 s/ h' v4 f0 Q0 Y4 W4 e- ]
S＝3D2 (D＝直径cm）   _# w! R/ Q0 ~: l  ~9 o7 K
" b1 r' D6 \$ J8 _5 t
' A! s* m3 @+ h1 E9 u+ R0 a+ k& _' }( `/ G6 M6 ^7 D4 {! P* _- B
　　10、罗茨泵的前级抽速：
3 ^4 K9 R& j  \$ y+ U
1 u) p6 I1 c% c. i9 v  q7 L1 O( L) |% O6 [% X' i0 \S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s)
0 ], g, F  S0 i; c# {; r- L" X* Z0 l8 J( i- A7 h) P
+ p8 h3 L/ b9 L& x" N( {6 l+ ^- P; ?  F. L' t6 w) @! h& Q0 M7 R$ Y! M5 W7 K
　　11、漏率：
8 l+ }5 ?, O' Z! ~! t4 C9 f5 F3 W# H* U: p( W
5 |2 P( j+ O" Z. A. N& h
Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1) 9 M+ B. K  O+ K, k3 J8 f
- y1 J9 `+ \( Y" C( ]! G6 jQ漏－系统漏率(mmHg·l/s)
' n7 Y9 U' u* F$ t6 f( H7 n" O' c- q& U$ B) K- [& }9 Y0 T- ^2 g& E
5 P) m! t% I6 x1 ~7 R& {6 u# K/ k4 B; M  I( u) C
V－系统容积(l)
! e! v; f: }# x; M9 R; h* SP1－真空泵停止时系统中压强(mmHg) % c  @6 H9 i& Z
& i$ C# x# ?+ D% \9 f/ j, FP2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg) 9 Y8 B3 u- t+ Z8 }: Z) X
) j+ z7 j! N8 ~% t$ [/ y' k- a0 rt－压强从P1升到P2经过的时间(s)
/ g& j6 l9 E7 ]$ F7 R3 B. h, ^7 G% o( d
* x, C! J' o6 t1 S/ p
; _. z8 W* m# G12、粗抽泵的抽速选择：
! D4 n# l: @6 f% U1 c' b9 H/ F8 U
3 H) U; L) n( N! G& ~5 m1 [0 d3 a$ ^7 N  s) k/ F. VS＝Q1/P预 (l/s) : b, m, f: P& B- V3 s+ o4 }8 q6 O
2 B! l, U: w4 w7 L* JS=2.3V·lg(Pa/P预)/t
1 C. A  B  M, S5 {' m! a" ]0 U  a( i: j$ M, ^/ S# i9 k8 jS－机械泵有效抽速 7 B: R% f' r+ A* E7 Y) z3 n/ F, y
5 ^3 c9 o  y: B$ XQ1－真空系统漏气率(托·升/秒)
& a2 D/ R: U% ]4 T& j2 W& nP预－需要达到的预真空度(托) : O1 I9 E3 l5 Y& M" G. R- n
+ N" a6 n- |2 U% dV－真空系统容积(升) " C+ H) M, s. r7 ^' k: k  ]7 J) y% y
9 c( f: l( c: c" s- |t－达到P预时所需要的时间 $ [2 s; |$ R% ?  d2 _
Pa－大气压值(托)
: c+ l6 c1 r3 a$ B" K3 [' _# }( V6 L/ a) l$ y3 `7 m7 V8 m
+ a( V0 `, P. ]& e8 W
7 T1 A3 U2 w  Y. V  t　　13、前级泵抽速选择： 8 T) n* A+ d% t9 ]- C
6 f. f# f' J5 m* f( O+ y* ?$ |
8 o& |$ l% I' P8 \& s$ {　　排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：
3 q& ^- ^3 r; \) q8 u3 a( B) v$ N0 f" c- L
* U3 R& m# j, \! e/ S/ N. z: R' Z
+ m" x; T: P" [7 P8 ^7 _PnSg≥PgS 或
' W' K; u. t# g: j( ZSg≥Pgs/Pn
- N; ~# J/ v0 w) w9 i, L2 ?Sg－前级泵的有效抽速(l/s) 2 Z# m9 E  E8 _1 N7 p" l5 c
Pn－主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s) # q. h1 X1 A% F: G2 J# h/ H+ U
Pg－真空室最高工作压强(托)
1 v0 ~9 E! E" t& C9 v( RS－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s) 3 a5 h$ _+ f4 y+ R
  ~9 ~! l9 O% }
' F2 S0 E2 t4 R' S4 S: v5 O: X; ^* \( Z* V# j0 z7 H
6 X; e3 U) g; S3 T( p( `　　14、扩散泵抽速计算公式：
9 H9 o) R8 ~+ _, j8 M
7 H3 r2 [1 [6 b. E/ iS＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)
+ v1 Z% S: z! |2 e' S: C" H2 l& a7 ?. l( |  S( H4 f4 h式中：S－被试泵的抽气速率(l/s)
5 }5 E# f/ [) [, E- B# J: `  \- ~$ ~) u( @( z  V/ q  ln－滴管内油柱上升格数(格)
; {7 a7 g% J/ y- P. |- H5 n) w9 p+ r4 x1 k. c. A/ J" x9 It－油柱上升n格所需要的时间(秒) : P% c& h! M* T) D8 Y
7 E9 T; H* s( _P－在泵口附近测得的压强(托)
- ~$ _& @. K) Y; i4 V/ D& O; x2 m2 CK－滴管系数(托·升/秒) 4 W+ P; J9 v  z7 `2 ^% w6 p" K
; W, f4 F! Y' c( c; M6 m1 S; f8 |' s* d& u+ U

2 |' ^1 J+ r( {' q0 U! U% n* Q  o+ }  U6 E5 d/ PK＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt
) A4 A1 `: y$ j* Z& ~% n$ I+ Z2 |" u$ l* v# K. P: J/ m! E: W0 l; R" S, K/ v0 n0 @' M9 V9 O
" r* d" E' Y% T3 e4 m( x1 K4 S
其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升) & Y  K9 a2 f7 }5 H
L－滴管刻度部分的长度(mm) 5 M0 Z. n4 d$ F  O  S5 c, {
7 U; N0 v# Q. _7 _8 `  U" {4 x% \n－滴管刻度部分的格数(格)
& a( m2 _/ K. n$ O5 \4 xΥ0－油的比重(克/厘米3) % j4 r/ S; W$ H
# x0 |5 |! P* y3 ~- z* AΥm－汞的比重(克/厘米3) 6 h2 x7 K9 ~+ B( `' m9 Y
Pa－当地大气压强(托)
+ M( p% U( m4 F" [7 L/ t- {4 u2 e  `: w7 {$ r/ }△Vt－滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)
5 v! h5 V) m  Q' ?# L4 T7 \
0 A6 S8 o  y& t' v, A5 ^0 x/ a9 [! ?. G. ?
, y. S, X8 H1 b- M* U' a  E; g" R+ R" \　　15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：
9 D4 O  p1 p9 b& ~( h2 N2 m4 t% t$ n5 ~7 u% `$ b
S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)
+ E1 U. K" n4 R+ M0 F+ l! C: W  Y$ i( l7 Y
3 [6 L  G5 x4 |; G
, A. _: R" a3 K0 }. f( o8 D" n( E3 e6 x式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm)，Kv 为容积利用系数(一般取95％)。
& I; Y. J% j( G6 o/ ], j/ @/ h* }& A7 C8 a
9 k7 o. R% e: }7 N' j2 p
, T3 x5 h" k* {7 k' \$ a* ?　　16、O型橡胶槽深B＝0.7D ; W( X* o1 Y" A# S  B% i+ \& Q
% x6 l9 ~9 j2 D9 w3 O
9 C$ ~* s) L6 ^$ A5 c% kD为橡胶直径，槽宽C＝1.6B
: w0 R; T- m1 D, W7 }4 }2 ^: h0 F) |
6 y( j) \- G2 V1 |/ [3 s7 O: j* R* P) n% B* ~
. e6 U/ ?4 U7 Q+ i2 X6 x/ Q　　17、方形橡胶槽深B＝0.8A 7 ?$

梦飞

看看

wauloo

gggggggggggggggggggggg

风雪夜归人

努力学习中