真空沈積薄膜實驗

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實驗目的
薄膜沈積技術在現今高科技產業中已被廣為應用，
故本課程將針對物理氣相沈積與化學氣相沈積技術作簡單介紹，
2 c  T; K. k' @3 ?( D使同學了解薄膜沈積的基本概念，並且透過本實驗實際操作，
使同學們對於薄膜沈積與真空技術的關係進一步的認知。