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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 氧化钛陶瓷靶

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[求助] 氧化钛陶瓷靶

发表于 2009-4-10 00:41:36 | 显示全部楼层 |阅读模式

有没有人用过氧化钛陶瓷靶的，该使用什么靶电源，直流还是中频、射频？沉积速率怎么样？

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