|
|
FH-01真空蒸着材料和H4的对比
( C" l2 g2 Z7 a: a' g* b
, h! {" f! A7 K( w 膜 料性 质 H4 FH-01
! w3 v5 r+ `# {3 C+ U& u/ T4 C物理性质 外观：黑色颗粒状 ；密度：5.9g／cm3 ；纯度：99.99﹪ ；透光范围：0.4－7μm；折射率2.13/550nm （温度300℃）；消光系数1×10－4；熔点：1800℃蒸发温度：2300℃ 外观：黑色颗粒状；密度约6g/cm3：纯度：99.9％：从近紫外到红外高透过，可见光波段的屈这绿为1.84-2.08 ' x4 e& |1 x# s- [
使用特性 1、熔融晶质化材料，不需要预熔融时间 1、蒸着时不需要预熔融
: j# C- R0 X4 Q& Z* C; R 2、晶质化材料在高真空成膜制备时几乎无水和气体，蒸镀过程中不会产生飞溅 2、蒸着时也H4一样，点状光斑并且没有飞溅 2 N4 H% [$ C7 S4 s
3、在蒸发温度时，形成较厚的液面，蒸发分子发射角不会变化 3、熔融的液体膜料类似与Tio2
/ U) z R1 ~, P5 V3 _8 s, R! H0 T 4、能重复加料，多次蒸镀，光学折射率差不多不变化 4、蒸着前后的对比写真如下图所示
2 W4 `. p U9 ~- J' S 5、材料具有“弹簧”性质的机械特性，它不但可以在玻璃或晶体基板上蒸镀，而且还可以蒸镀在塑料基板上，不会龟裂，具有好的结合力 ! O4 I" \1 S* I8 q1 u7 S
蒸着工艺 蒸着装置：昭和900 蒸着装置：昭和900 : J9 U4 E0 H) e% R/ K' E& O- |
1、真空度2.0E-3；2、温度280℃；3、蒸着速率：4.0A/s； 4、APC设定1.1E-2 1、真空度2.0E-3；2、温度280℃；3、蒸着速率：4.0A/s； 4、设定1.1E-2 ) N7 L) j6 M6 g- t
% T B8 C! v: ?& {! K, w ) e' d! W) C2 r) x7 }$ K+ w
蒸着程序 两种材料选择一样的蒸着程序，中心波长、光学膜厚和滤光片等都一样。（见表2 ） ] l! B9 x% r0 h4 d7 l. I2 M! H
1 q( ]& k4 k1 l% l4 [分光特性 表3列出了H4和FH-01的分光特性：在保持基本一样的条件下，两种膜料的分光特性基本上一样，H4在波峰的位置比FH-01略高点，反映在屈这率上就是FH-01的屈这率略低一点。
* ^0 m) J0 q* K* Y+ V$ R所用药量 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(￥) 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(￥)
% h# Y3 Q. P7 q$ s 126.4g 122.7g 3.7g 29.6 125.4g 121.2g 4.2g 29.40 |$ L) Q- _) {: Y
表4列出了FH-01的三段目的分光特性和Monitor的分光特性的对比图并附带数据。
) X! ?' O9 f3 z5 {. g表5是根据表4的数据计算的FH-01大气屈折率，这个屈折率和H4的屈折率基本一样。
7 X9 O* Z1 K6 P2 ~ L b3 q9 b结论：经过实验，H4和FH-01有相近的屈折率，密度也基本一样。若蒸着相同的厚度，它们耗费的药量相差不大。根据实验的结果，光学厚度是3时，H4用药量4.2g，FH-01用药3.7g。按照现在目前H4的8000RMB价格和FH-01的7000RMB的价格计算的话，二者基本没有什么区别。如果真的有区别的话，应该是屈折率略微有差异，并且FH-01的屈折率可以达到1.84，这对于三层AR来说，可以适当的增加带宽。在成本上，FH-01并没有降低成本。 t3 m, m( o4 _. v) A, m4 m5 U
4 ~6 \# g7 }5 \9 Z( m. f 8 b/ H E: S: H+ v* D4 o
5 {* i; \/ V' D c% ^
% |1 m4 t4 T! L6 q
9 O/ |& y, w7 R- a" V
/ F" } C, y2 B$ [, H* o3 {/ S
1 I R2 k. Z" v+ m" z% t
! m7 Z+ t9 X9 f. ~. x$ QFH-01真空蒸着材料和H4的对比
8 W' q% `6 q1 g+ f4 _: I- E % H( T7 f. u7 R7 y7 g! p8 H
膜 料性 质 H4 FH-01 2 q3 X! H' l4 v2 Z7 m1 P
物理性质 外观：黑色颗粒状 ；密度：5.9g／cm3 ；纯度：99.99﹪ ；透光范围：0.4－7μm；折射率2.13/550nm （温度300℃）；消光系数1×10－4；熔点：1800℃蒸发温度：2300℃ 外观：黑色颗粒状；密度约6g/cm3：纯度：99.9％：从近紫外到红外高透过，可见光波段的屈这绿为1.84-2.08 6 \2 ~( @+ c) o# u: B+ E9 C
使用特性 1、熔融晶质化材料，不需要预熔融时间 1、蒸着时不需要预熔融 + L8 R. V) |. L
2、晶质化材料在高真空成膜制备时几乎无水和气体，蒸镀过程中不会产生飞溅 2、蒸着时也H4一样，点状光斑并且没有飞溅
* ]* U# c- d$ R 3、在蒸发温度时，形成较厚的液面，蒸发分子发射角不会变化 3、熔融的液体膜料类似与Tio2 + e [' z8 Y* H" n- C' m
4、能重复加料，多次蒸镀，光学折射率差不多不变化 4、蒸着前后的对比写真如下图所示
. [! D: w9 C7 U; C% c 5、材料具有“弹簧”性质的机械特性，它不但可以在玻璃或晶体基板上蒸镀，而且还可以蒸镀在塑料基板上，不会龟裂，具有好的结合力
) o z: \, F+ @蒸着工艺 蒸着装置：昭和900 蒸着装置：昭和900
* L; D4 {6 Z' c( [( ~- s 1、真空度2.0E-3；2、温度280℃；3、蒸着速率：4.0A/s； 4、APC设定1.1E-2 1、真空度2.0E-3；2、温度280℃；3、蒸着速率：4.0A/s； 4、设定1.1E-2
% [) `, ~! \' a8 G$ R0 O
, p( b, C, F# W) W; P % {5 j" T" F% m: |+ }+ X
蒸着程序 两种材料选择一样的蒸着程序，中心波长、光学膜厚和滤光片等都一样。（见表2 ）
% J. D7 B. U Y) r3 x# v 6 m# p( ^! h7 S a) }, Y
分光特性 表3列出了H4和FH-01的分光特性：在保持基本一样的条件下，两种膜料的分光特性基本上一样，H4在波峰的位置比FH-01略高点，反映在屈这率上就是FH-01的屈这率略低一点。
& [( D+ ^1 w4 k! @( x, {8 ]6 B: I所用药量 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(￥) 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(￥)
! |3 U b5 v, Z 126.4g 122.7g 3.7g 29.6 125.4g 121.2g 4.2g 29.4' V% j2 ^/ B: j2 y, x6 ^) P% R
表4列出了FH-01的三段目的分光特性和Monitor的分光特性的对比图并附带数据。 x* J# @3 H4 V* W( l6 n# w
表5是根据表4的数据计算的FH-01大气屈折率，这个屈折率和H4的屈折率基本一样。
0 n/ z, V; p$ I结论：经过实验，H4和FH-01有相近的屈折率，密度也基本一样。若蒸着相同的厚度，它们耗费的药量相差不大。根据实验的结果，光学厚度是3时，H4用药量4.2g，FH-01用药3.7g。按照现在目前H4的8000RMB价格和FH-01的7000RMB的价格计算的话，二者基本没有什么区别。如果真的有区别的话，应该是屈折率略微有差异，并且FH-01的屈折率可以达到1.84，这对于三层AR来说，可以适当的增加带宽。在成本上，FH-01并没有降低成本。
' d- n6 s& ^, s5 \" X " B9 ^+ x- A+ X L0 K
: K- Q" v/ V1 k1 V
( }3 u: u) t6 W; h" A* q+ h* ?
" C9 T+ O- |1 z! U7 l9 Y. F. b+ H
; z- T* F( g+ E2 s5 s0 ~( {. q; ]
. D' @8 x7 B/ J0 H5 Z" {; L; x7 @; m
5 U: j+ O9 w, \" ]3 |& o4 G+ V4 L5 f
# F* v Y3 r0 w; u/ b
$ [6 W5 v3 W: ^
8 v3 w2 D. ?4 G0 A1 m; I! A0 E3 h' E. R9 T" ?1 l" {/ C' E- J
- [" Z9 X/ Z: O- B3 o: h* r$ S' \
& H9 e1 O B S. k) `) X
% N6 Z% F4 i& m8 B2 O3 w0 W7 p0 c' T! {. |2 f
5 R ?2 i4 M) O/ O+ S. w
- g" D/ v L, o" E' }
; r/ S! I1 j6 L7 D( v& R# E& x/ m- F5 |
* k3 x% ~ k, |
* L4 H+ x2 D$ o
, u2 w0 [% U7 A4 Y9 p
. S. v* V2 A" h( y5 A2 v) e. w- r$ _8 \, a4 H( X
' j" y9 M) G8 t- N, {+ S0 w
. ?9 s) |$ n( R. Y5 A7 C
# T8 C2 u; {6 b5 J
0 X x' t: Z# S, f( }& r4 r' L
$ H% l6 X, k Z5 d" l4 c
) a1 S4 _/ f3 C& E4 V' K4 U. g3 \
, {/ u( S* W* d+ A5 w$ L3 `& P" S) h2 }. S
# _0 s" M1 k4 Z+ J$ ^: T6 e2 P. x
5 N- g4 G# x# L$ n3 J
% \% E- _9 G, N H4蒸着后的情况写真 FH-01蒸着后的写真 |
|
窥视卡
雷达卡
发表于 2009-4-7 22:14:12
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
抢沙发
显身卡
