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FH-01真空蒸着材料和H4的对比
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膜 料性 质 H4 FH-01 3 M0 f3 L) i; A
物理性质 外观：黑色颗粒状 ；密度：5.9g／cm3 ；纯度：99.99﹪ ；透光范围：0.4－7μm；折射率2.13/550nm （温度300℃）；消光系数1×10－4；熔点：1800℃蒸发温度：2300℃ 外观：黑色颗粒状；密度约6g/cm3：纯度：99.9％：从近紫外到红外高透过，可见光波段的屈这绿为1.84-2.08 5 r& ~& p1 l; ]$ f
使用特性 1、熔融晶质化材料，不需要预熔融时间 1、蒸着时不需要预熔融
$ }# D) s; E- A" Z$ b) a 2、晶质化材料在高真空成膜制备时几乎无水和气体，蒸镀过程中不会产生飞溅 2、蒸着时也H4一样，点状光斑并且没有飞溅 8 r9 B+ Q2 v$ U+ O- [
3、在蒸发温度时，形成较厚的液面，蒸发分子发射角不会变化 3、熔融的液体膜料类似与Tio2
7 c4 Q: z7 \1 {3 {# P4 e7 F 4、能重复加料，多次蒸镀，光学折射率差不多不变化 4、蒸着前后的对比写真如下图所示
- e7 {' d( D8 u5 r! Z5 F 5、材料具有“弹簧”性质的机械特性，它不但可以在玻璃或晶体基板上蒸镀，而且还可以蒸镀在塑料基板上，不会龟裂，具有好的结合力 3 o9 z6 c& {+ t) `+ G- B" c
蒸着工艺 蒸着装置：昭和900 蒸着装置：昭和900
, C! t" x8 s0 q 1、真空度2.0E-3；2、温度280℃；3、蒸着速率：4.0A/s； 4、APC设定1.1E-2 1、真空度2.0E-3；2、温度280℃；3、蒸着速率：4.0A/s； 4、设定1.1E-2 1 b/ ]* Y8 u6 q5 X2 J0 p9 i u: S
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2 D3 X0 x* x: ^7 s. g2 ]蒸着程序 两种材料选择一样的蒸着程序，中心波长、光学膜厚和滤光片等都一样。（见表2 ）
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! E# s, D/ R; v( x' o分光特性 表3列出了H4和FH-01的分光特性：在保持基本一样的条件下，两种膜料的分光特性基本上一样，H4在波峰的位置比FH-01略高点，反映在屈这率上就是FH-01的屈这率略低一点。 & Y% D4 F9 b. p
所用药量 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(￥) 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(￥)2 Q$ c6 [( X8 W
126.4g 122.7g 3.7g 29.6 125.4g 121.2g 4.2g 29.45 M: P2 [$ C7 ]" U& m
表4列出了FH-01的三段目的分光特性和Monitor的分光特性的对比图并附带数据。 ( O' m; }, m3 _, p9 S* q; j
表5是根据表4的数据计算的FH-01大气屈折率，这个屈折率和H4的屈折率基本一样。
, d6 V C) B6 ?, \+ f0 Z结论：经过实验，H4和FH-01有相近的屈折率，密度也基本一样。若蒸着相同的厚度，它们耗费的药量相差不大。根据实验的结果，光学厚度是3时，H4用药量4.2g，FH-01用药3.7g。按照现在目前H4的8000RMB价格和FH-01的7000RMB的价格计算的话，二者基本没有什么区别。如果真的有区别的话，应该是屈折率略微有差异，并且FH-01的屈折率可以达到1.84，这对于三层AR来说，可以适当的增加带宽。在成本上，FH-01并没有降低成本。 2 {- ]1 o" \4 W
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FH-01真空蒸着材料和H4的对比
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& M2 B$ q2 N8 f; W0 v 膜 料性 质 H4 FH-01
" N, h' @. y9 C( t4 k物理性质 外观：黑色颗粒状 ；密度：5.9g／cm3 ；纯度：99.99﹪ ；透光范围：0.4－7μm；折射率2.13/550nm （温度300℃）；消光系数1×10－4；熔点：1800℃蒸发温度：2300℃ 外观：黑色颗粒状；密度约6g/cm3：纯度：99.9％：从近紫外到红外高透过，可见光波段的屈这绿为1.84-2.08 6 n. _2 T4 ^* Z- x
使用特性 1、熔融晶质化材料，不需要预熔融时间 1、蒸着时不需要预熔融 1 |7 ~9 `% v: \, u( m1 O5 x, r
2、晶质化材料在高真空成膜制备时几乎无水和气体，蒸镀过程中不会产生飞溅 2、蒸着时也H4一样，点状光斑并且没有飞溅 5 n m/ Q$ X7 q3 I0 m6 ^, z3 X
3、在蒸发温度时，形成较厚的液面，蒸发分子发射角不会变化 3、熔融的液体膜料类似与Tio2
7 U3 X, ~; l8 y& ~* v# A 4、能重复加料，多次蒸镀，光学折射率差不多不变化 4、蒸着前后的对比写真如下图所示
4 @, C1 j1 L/ w 5、材料具有“弹簧”性质的机械特性，它不但可以在玻璃或晶体基板上蒸镀，而且还可以蒸镀在塑料基板上，不会龟裂，具有好的结合力
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1、真空度2.0E-3；2、温度280℃；3、蒸着速率：4.0A/s； 4、APC设定1.1E-2 1、真空度2.0E-3；2、温度280℃；3、蒸着速率：4.0A/s； 4、设定1.1E-2
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蒸着程序 两种材料选择一样的蒸着程序，中心波长、光学膜厚和滤光片等都一样。（见表2 ）
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! B% q+ l' Q* [ @- |5 C分光特性 表3列出了H4和FH-01的分光特性：在保持基本一样的条件下，两种膜料的分光特性基本上一样，H4在波峰的位置比FH-01略高点，反映在屈这率上就是FH-01的屈这率略低一点。 # \: }( a3 J/ D! n/ B+ X/ d5 e
所用药量 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(￥) 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(￥)+ k7 T7 z4 |4 A0 v. y
126.4g 122.7g 3.7g 29.6 125.4g 121.2g 4.2g 29.4
# i* h* |* \# |1 w表4列出了FH-01的三段目的分光特性和Monitor的分光特性的对比图并附带数据。
: e1 J* p6 R) K& C2 A表5是根据表4的数据计算的FH-01大气屈折率，这个屈折率和H4的屈折率基本一样。
[( i2 F. H, V. J8 Y- u/ p结论：经过实验，H4和FH-01有相近的屈折率，密度也基本一样。若蒸着相同的厚度，它们耗费的药量相差不大。根据实验的结果，光学厚度是3时，H4用药量4.2g，FH-01用药3.7g。按照现在目前H4的8000RMB价格和FH-01的7000RMB的价格计算的话，二者基本没有什么区别。如果真的有区别的话，应该是屈折率略微有差异，并且FH-01的屈折率可以达到1.84，这对于三层AR来说，可以适当的增加带宽。在成本上，FH-01并没有降低成本。 8 F; P6 h) o7 n5 o& I
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H4蒸着后的情况写真 FH-01蒸着后的写真 |
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发表于 2009-4-7 14:14:12
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