离子束辅助蒸发对ZnS，MgF2及Al膜层性能的影响

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离子束辅助蒸发对ZnS，MgF2及Al膜层性能的影响
0 S5 l8 q, T" n1 l& q# h5 `! d, \王红萍 闫席珍太原光学仪器厂,山西太原030012摘　要:通过实验数据证明了离子束辅助蒸发对ZnS，MgF2及Al膜层折射率、牢固度及环境耐受性的影响，并简要分析了产生这些影响的原因。[著者文摘]
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9 H* Q/ W) W+ f# t% j* ?关键词:离子束辅助 膜层 光学薄膜材料
- u( J3 F" ^" h7 H分类号:　O484.4[著者标引]文献标识码：A文章编号：1006-4877（2008）12-0092-02栏目信息：应用技术
( m$ V' u0 H1 ]  m/ I/ j9 B1 v7 ]4 r相关文献:主题相关 全文快照　　　
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; s; u) w1 d% Z' S% T* BHow Ion-beam Assisted Evaporation Influenced Film Properties of ZnS, MgF2 and AlWANG Hong-ping,YAN Xi-zhen Taiyuan Optical Instrument Factory, Taiyuan 030012, ChinaAbstract:The experimental data proved how assisted evaporation of ion beam influenced refractive index, durability and environmental tolerance degree of ZnS, MgF2 and Al. Also in this paper, we analyzed the causation of these effects.[著者文摘]
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9 @8 i% I" Z5 P0 kKey words:ion-beam assisted; film; optical thin-film material

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hmilyu

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加菲兔

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