工具因子

wanling

请教各位高手，如何测量计算镀膜设备的工具因子！

gds

工具因子=实际薄膜厚度/晶控仪显示厚度
  \& H+ q: b: `+ ^! ]$ \5 _" Y实际薄膜厚度可由光谱仪测量计算或椭偏仪直接测量。