蒸发镀膜机电子枪功率暴高

eyemonk · 发表于 2009-3-12 22:01:40

最近一段时间以来，使用蒸镀机进行镀Au时，电子枪功率为55%，甚至更高，而早些时候才20%（相同工艺条件下），由于电子枪功率升高导致腔体温度过高，从而损害了光刻胶的稳定性。

因而，迫切希望得到专业人士的指导。谢谢！

eyemonk · 发表于 2009-3-12 22:20:27

自顶！急切期待中。怎么样才能将电子枪功率下调，已经通过调节冷却水、镀率等参数，但对于电子枪功率影响不大。

gds · 发表于 2009-3-12 23:50:40

与电子枪灯丝有关吗？

lt1213 · 发表于 2009-3-13 19:16:04

换个灯丝换个灯丝

yikoulibu · 发表于 2009-3-27 07:00:13

不太懂意思但應該是差不多是燈絲

haisheng_0_0 · 发表于 2009-3-27 16:22:50

我也遇到过这问题，TIO2的速率上不去，只能把功率望上调，换了灯丝也没用。谁知道怎么回事？

lwt2004 · 发表于 2009-3-31 18:11:11

我也遇到这种情况，可能是因为机器电源箱内部有关于电压的设定，有好几个档位，不知道你的档位是否对。
还有就是灯丝的问题，另外我在实际的生产中还有这种情况，就是冷却水的管子太过接近电子枪高压的接头，导致的

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