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KMAC 简介) H3 n; t# M7 E. y
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K-MAC(株)公司附属韩国物理性质分析研究所,主要开发生产具有高科技含量的 物理化学分析仪器和应用仪器。K-MAC(株)公司在北京设有分公司,可为您提供 及时的售前、售后服务。方便您的研究、生产。0 W W2 e$ s1 E: |
 设备简介
" K1 Z3 |: x, o; U! J* Y4 L1.特点4 t0 Q9 G# ~) m. y6 R
l 操作简单易懂 l 非接触式、非破坏式测量方法 l 可同时测量多层膜厚度 l 原地测量 l 价 格合理3 n' S3 s; w. u( X9 J
2.应用领域
. L% Q* _( ]- J7 L+ N半导体 Poly-Si, GaAS, GaN, InP, ZnS, SiGe ...7 {8 _' v5 c# K2 s) R7 e( X% ]6 B* `
绝缘材料 SiO 2 , Si 3 N 4 , TiO 2 , ITO, ZrO 2 , BTS, HfO 2 ..., u3 D! i* e6 s& v9 p
聚合物 PVA, PET, PP, PR .../ f6 w* P6 u3 T0 \+ v
( c; {2 U$ m) E& ~4 h# T
LCD a-Si, n+a-Si,Oxides, ITO, Cell Gap, Photoresist & Polyimide
. K& D+ D; C6 b% A6 `$ N8 eFilm
3 O5 D( _& x" E9 c4 `4 a光学镀层 Hardnes Coating, Anti-Reflection Coating, Filters, Packing & Functional Film ...# p6 L+ M* I; S8 G+ p. K( w
可纪录材料 Phtosensitive Drum, Video Head, Optical Disk ...6 P1 n7 J* }2 d2 H$ k) D
其它 Photoresist Film on CRT & Shadow Mask, Thin Metal Films, Laser
# v/ x- t8 a A8 LMirrors ...
* l1 L# p8 E N' v/ P3.可用的基片, A4 [ ]/ e( _+ x
Silicon SOI Al 2 O 3 Aluminium
: Z1 d; T" ^$ t) z# ]; ~4 DSOS GaAs Glass ......
# Y' L7 o4 T% D }: u. B6 \软件$ [9 \$ F) r- c
⊙ 实时测量- G! y: ]; [% Y! A" `, q+ y( F4 ^
⊙ 再现性好(精度可达 1A 以下)
$ `0 [. P2 w0 k! W5 e, P2 z$ d⊙ 厚度及光学常数(折射率、消光系 数)7 u( s; M- f: `+ \7 |% W) G. n
⊙ 一次最多 3 层薄膜测量
& C' d; ]2 Q' q D" P⊙ 测量结果制图$ Q) D! E3 F2 o% t
⊙ X-Y-Z 移动控制
- S& y/ g5 T& j6 i' z, g⊙ CCD 影像显示
$ S1 G, z7 A( f# J9 _& `5 T4 n⊙ 自定义测量过程& S6 s- A3 P) W
⊙ 打印预览模式" E/ M6 i1 x% Q5 c% F, R8 s3 L
# l" D4 R- p& r! N* B
4.分光反射镜的工作原理$ a+ o- o. Z, [. v a- E
利用可见光非接触式测量 光源与信号通道 如右图所示,钨-卤光源发出的光通过 光学显微镜入射到样片上的薄膜上,然 后从薄膜表面和基底反射的光通过入射 光纤探针内中间的一个发射光收集光纤 又入射到分光计(spectrometer)。这 个反射光由探测器里的光栅根据波长分 解后,由 CCD 转换成电子信号,再由 A/D 转换器转换成数字信号,最后通过通讯 端口输入到电脑进行分析。 J5 C1 j; S4 [# U9 b1 V
干涉频谱
" ~8 n" q& k8 Q+ V2 S– 相干光 → 表面反射 + 薄膜 / 底层反射 = 干 涉现象 → 相长 / 相消干涉(与波长有关)
5 F( \2 N3 |& u0 q# l. ?* b4 v
I+ `" L E$ w$ _6 y光谱拟合薄膜厚度 R2 U5 T$ M6 m. P
– 在波长范围里测量频谱的正弦波型由 薄膜厚度和 N&K 值决定
, E. a- s# p) F5 }5 h# z– 由拟合计算测定频谱来优化薄膜厚度 和 N&K 值
9 Y3 s( o! |9 g9 M% ?
; ?: j; [# l6 Y, g+ M! g5技术指标. Z. L$ w, U0 R- W
类型 手动对焦7 ?* U, }( J- B* W# v8 v
测量样本尺寸 ≤ 4"
t+ H" r. I8 J1 Z/ g0 T" I5 q特点 快速测量 & 操作简单% L0 V' u7 Z8 E! A
基于用户友好界面的 Windows 操作 图像打印功能 & 数据保存
5 @7 ^; k8 H! H2 E( g+ z* d4 R5 a平台尺寸 150 x 120mm(70 x 50mm 行程)0 P. f3 L Q# E! l8 R7 E9 ?; J$ j
测量范围 200Å~ 35 ㎛
- m) |0 F' m( H- H: r' v光斑大小 一般 20 ㎛
5 L+ ?* c+ n+ w测量速度 1~2 sec./site, c+ @3 b( Z( C- ]
应用领域 Polymers : PVA, PET, PP, PR ... Dielectrics : w) U5 g6 a7 i6 L7 ^' A0 v
Semiconductors: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
, i3 N4 x. ^6 J2 A2 u2 u物镜 三目镜头3 O9 M8 v+ T& O/ t/ K
目镜 内倾四孔转换器 t: e5 q# `6 U; P- g4 a4 X1 Q
u0 [# w3 _5 J$ o
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刘先生 ( G9 Y5 ]$ x' }, ]2 m7 m2 s! V
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, T& F+ p& _ w6 q3 _3 b北京燕京电子有限公司
3 k) v' T# x8 e: v YBeijing Yanjing Electronics co.,ltd.
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0 w5 F" O! a( A地址:北京市朝阳区酒仙桥东路9号A2座西区7层 1 U# w* N7 w' V3 L3 [
邮编:100016
& z. ^8 g- F) I+ Q* x) s2 T, |9 GTel: 86-10-5823-7160
7 i, b& t+ h0 g w! KFax: 86-10-5922-2787 M; N/ m9 v; M- M7 o6 l% T
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