|
KMAC 简介4 i9 u+ q( \# v1 |& m
, u( \4 E" U" ~/ i" W
K-MAC(株)公司附属韩国物理性质分析研究所,主要开发生产具有高科技含量的 物理化学分析仪器和应用仪器。K-MAC(株)公司在北京设有分公司,可为您提供 及时的售前、售后服务。方便您的研究、生产。
9 ]$ L$ [1 W. b' y, A; j0 V 设备简介
) A+ ]- g/ K1 d1.特点- D# O, G& L* n/ @( Q
l 操作简单易懂 l 非接触式、非破坏式测量方法 l 可同时测量多层膜厚度 l 原地测量 l 价 格合理
' n5 O% v( B) t& F! o, B& T2.应用领域6 d* m1 J7 t% j( B, ]# D4 p
半导体 Poly-Si, GaAS, GaN, InP, ZnS, SiGe ...
& U/ q1 E9 P! r' E+ F R绝缘材料 SiO 2 , Si 3 N 4 , TiO 2 , ITO, ZrO 2 , BTS, HfO 2 ...
4 D, ^5 d) Q( n; O3 g1 z4 m) G聚合物 PVA, PET, PP, PR ...! D, o4 |/ P/ z6 J
2 c, Q. U6 D4 R" @+ }
LCD a-Si, n+a-Si,Oxides, ITO, Cell Gap, Photoresist & Polyimide
0 I& t4 p. V0 A8 A& EFilm: N4 ~& h+ M$ p6 x
光学镀层 Hardnes Coating, Anti-Reflection Coating, Filters, Packing & Functional Film ...
6 |6 i7 ^ @3 ^6 U可纪录材料 Phtosensitive Drum, Video Head, Optical Disk ...
- `7 s1 q" j/ ?, X. V其它 Photoresist Film on CRT & Shadow Mask, Thin Metal Films, Laser5 h+ N/ M1 ?) Q
Mirrors ...
; H% p% j4 v# a. J: N3.可用的基片
$ p. |7 S B& b, ^0 m( H- X, c0 bSilicon SOI Al 2 O 3 Aluminium5 ?. i* e! y0 I6 ~! s5 z
SOS GaAs Glass ......
; h8 \' `5 f- f4 v. Q, p软件
7 ?8 C8 M& W$ Y7 ?' q. D⊙ 实时测量* N+ g& [; K5 N8 Y/ N" m2 x
⊙ 再现性好(精度可达 1A 以下)6 K4 i- ~0 h4 J0 o- p# E' R
⊙ 厚度及光学常数(折射率、消光系 数)3 P+ d2 E' _5 D
⊙ 一次最多 3 层薄膜测量' q Z6 z% K. E' i
⊙ 测量结果制图
+ ^8 p1 |% w" m* u! h* k( S6 x# i⊙ X-Y-Z 移动控制6 F, N: p- B1 q- O5 C% A. {$ I. K
⊙ CCD 影像显示
l: x* x( o$ u) r7 }) N* X⊙ 自定义测量过程0 l: ~% X! o0 f) |- g
⊙ 打印预览模式
3 s- R1 ~2 u2 R; @2 q4 y4 l" ?; z6 Q
4.分光反射镜的工作原理
, M4 ^% J. P2 ~' H$ ?; h5 I. ]利用可见光非接触式测量 光源与信号通道 如右图所示,钨-卤光源发出的光通过 光学显微镜入射到样片上的薄膜上,然 后从薄膜表面和基底反射的光通过入射 光纤探针内中间的一个发射光收集光纤 又入射到分光计(spectrometer)。这 个反射光由探测器里的光栅根据波长分 解后,由 CCD 转换成电子信号,再由 A/D 转换器转换成数字信号,最后通过通讯 端口输入到电脑进行分析。5 Q& W( T" T5 G. ]
干涉频谱
; ?% c' W& Z D– 相干光 → 表面反射 + 薄膜 / 底层反射 = 干 涉现象 → 相长 / 相消干涉(与波长有关)
, v: d# A9 [9 L0 ]6 Y. |5 R. R. G( Z; t V
光谱拟合薄膜厚度
8 m* R* k5 a! x0 C/ M7 Z2 A– 在波长范围里测量频谱的正弦波型由 薄膜厚度和 N&K 值决定
; O. L+ M" o8 e/ i8 R) |! {– 由拟合计算测定频谱来优化薄膜厚度 和 N&K 值9 p! L) F4 |$ F( f/ ~ U \
1 W4 i- m1 W9 h: G' b
5技术指标
) q6 I# r3 ^' x2 ~# Z x$ N类型 手动对焦
; s, A, l n n3 k0 i1 d测量样本尺寸 ≤ 4") K* d- }# x8 T5 ]
特点 快速测量 & 操作简单4 f5 E& z( ]8 ~0 l; D3 s1 s. ]/ D) I
基于用户友好界面的 Windows 操作 图像打印功能 & 数据保存0 f$ C8 d4 _' g3 E1 K
平台尺寸 150 x 120mm(70 x 50mm 行程). S6 ?- E) E/ B6 G' E- i
测量范围 200Å~ 35 ㎛# l( g- e8 E& z0 }$ y7 ?, m
光斑大小 一般 20 ㎛; Z! g7 G5 }9 _9 A% }
测量速度 1~2 sec./site
! z) I4 N" w6 `8 Z应用领域 Polymers : PVA, PET, PP, PR ... Dielectrics :
( m4 N* V( J( |- F5 k3 qSemiconductors: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
0 _. e8 f2 S' \4 t$ ~7 s物镜 三目镜头
7 P4 w7 r- i& N* C* K/ _" V目镜 内倾四孔转换器 t" ]9 ?! m( f3 H8 \4 [& @
m4 C3 f3 |: W# s- Y# u8 T+ G" {9 r0 B1 }9 L! N
刘先生
- I! _9 K4 }0 J) X ?$ R z 7 d, @2 d: ^; A# e: z
9 R5 `8 e' T$ i; W& V. g& A
北京燕京电子有限公司 ) f4 M/ C$ f# M" ^3 Z
Beijing Yanjing Electronics co.,ltd. 2 p7 S2 F3 M; M$ R) p) j
3 H5 A t& x% C2 D: v# z
地址:北京市朝阳区酒仙桥东路9号A2座西区7层 $ q1 y- X, ^7 f; K
邮编:100016 + _$ z- G3 O; `
Tel: 86-10-5823-7160
; M+ R) D3 w0 OFax: 86-10-5922-2787
3 Z+ J3 J. A: Y6 u+ eMsn:po663340@hotmail.com
0 m. _) ]! W* o2 S8 w% U$ i; ?; \E-mail: liusp@beijingec.com |
本帖子中包含更多资源
您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册
x
|