找回密码
 注册
查看: 3170|回复: 3

推荐KMAC ST2000-DLXn光学薄膜测厚仪

[复制链接]

7

主题

7

主题

7

主题

积分
199
QQ
发表于 2009-3-11 14:44:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
  KMAC 简介) H3 n; t# M7 E. y
) [' P7 n' {7 X4 e: `, e' A
K-MAC(株)公司附属韩国物理性质分析研究所,主要开发生产具有高科技含量的 物理化学分析仪器和应用仪器。K-MAC(株)公司在北京设有分公司,可为您提供 及时的售前、售后服务。方便您的研究、生产。0 W  W2 e$ s1 E: |
  设备简介
" K1 Z3 |: x, o; U! J* Y4 L1.特点4 t0 Q9 G# ~) m. y6 R
l 操作简单易懂  l 非接触式、非破坏式测量方法  l 可同时测量多层膜厚度  l 原地测量  l 价 格合理3 n' S3 s; w. u( X9 J
2.应用领域
. L% Q* _( ]- J7 L+ N半导体    Poly-Si, GaAS, GaN, InP, ZnS, SiGe ...7 {8 _' v5 c# K2 s) R7 e( X% ]6 B* `
绝缘材料    SiO 2 , Si 3 N 4 , TiO 2 , ITO, ZrO 2 , BTS, HfO 2 ..., u3 D! i* e6 s& v9 p
聚合物    PVA, PET, PP, PR .../ f6 w* P6 u3 T0 \+ v
( c; {2 U$ m) E& ~4 h# T
LCD    a-Si, n+a-Si,Oxides, ITO, Cell Gap, Photoresist & Polyimide
. K& D+ D; C6 b% A6 `$ N8 eFilm
3 O5 D( _& x" E9 c4 `4 a光学镀层    Hardnes Coating, Anti-Reflection Coating, Filters, Packing & Functional Film ...# p6 L+ M* I; S8 G+ p. K( w
可纪录材料    Phtosensitive Drum, Video Head, Optical Disk ...6 P1 n7 J* }2 d2 H$ k) D
其它    Photoresist Film on CRT & Shadow Mask, Thin Metal Films, Laser
# v/ x- t8 a  A8 LMirrors ...
* l1 L# p8 E  N' v/ P3.可用的基片, A4 [  ]/ e( _+ x
Silicon    SOI    Al 2 O 3    Aluminium
: Z1 d; T" ^$ t) z# ]; ~4 DSOS    GaAs    Glass    ......
# Y' L7 o4 T% D  }: u. B6 \软件$ [9 \$ F) r- c
⊙  实时测量- G! y: ]; [% Y! A" `, q+ y( F4 ^
⊙  再现性好(精度可达 1A 以下)
$ `0 [. P2 w0 k! W5 e, P2 z$ d⊙  厚度及光学常数(折射率、消光系 数)7 u( s; M- f: `+ \7 |% W) G. n
⊙  一次最多 3 层薄膜测量
& C' d; ]2 Q' q  D" P⊙  测量结果制图$ Q) D! E3 F2 o% t
⊙  X-Y-Z 移动控制
- S& y/ g5 T& j6 i' z, g⊙  CCD 影像显示
$ S1 G, z7 A( f# J9 _& `5 T4 n⊙  自定义测量过程& S6 s- A3 P) W
⊙  打印预览模式" E/ M6 i1 x% Q5 c% F, R8 s3 L
# l" D4 R- p& r! N* B
4.分光反射镜的工作原理$ a+ o- o. Z, [. v  a- E
利用可见光非接触式测量 光源与信号通道 如右图所示,钨-卤光源发出的光通过 光学显微镜入射到样片上的薄膜上,然 后从薄膜表面和基底反射的光通过入射 光纤探针内中间的一个发射光收集光纤 又入射到分光计(spectrometer)。这 个反射光由探测器里的光栅根据波长分 解后,由 CCD 转换成电子信号,再由 A/D 转换器转换成数字信号,最后通过通讯 端口输入到电脑进行分析。  J5 C1 j; S4 [# U9 b1 V
干涉频谱
" ~8 n" q& k8 Q+ V2 S–  相干光  →  表面反射  + 薄膜  / 底层反射  = 干 涉现象  →  相长  / 相消干涉(与波长有关)
5 F( \2 N3 |& u0 q# l. ?* b4 v
  I+ `" L  E$ w$ _6 y光谱拟合薄膜厚度  R2 U5 T$ M6 m. P
–  在波长范围里测量频谱的正弦波型由 薄膜厚度和  N&K 值决定
, E. a- s# p) F5 }5 h# z–  由拟合计算测定频谱来优化薄膜厚度 和  N&K 值
9 Y3 s( o! |9 g9 M% ?
; ?: j; [# l6 Y, g+ M! g5技术指标. Z. L$ w, U0 R- W
类型    手动对焦7 ?* U, }( J- B* W# v8 v
测量样本尺寸    ≤ 4"
  t+ H" r. I8 J1 Z/ g0 T" I5 q特点    快速测量  &  操作简单% L0 V' u7 Z8 E! A
基于用户友好界面的 Windows 操作 图像打印功能  &  数据保存
5 @7 ^; k8 H! H2 E( g+ z* d4 R5 a平台尺寸    150 x 120mm(70 x 50mm  行程)0 P. f3 L  Q# E! l8 R7 E9 ?; J$ j
测量范围    200Å~ 35 ㎛
- m) |0 F' m( H- H: r' v光斑大小    一般 20 ㎛
5 L+ ?* c+ n+ w测量速度    1~2 sec./site, c+ @3 b( Z( C- ]
应用领域    Polymers : PVA, PET, PP, PR ... Dielectrics :     w) U5 g6 a7 i6 L7 ^' A0 v
Semiconductors: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
, i3 N4 x. ^6 J2 A2 u2 u物镜    三目镜头3 O9 M8 v+ T& O/ t/ K
目镜    内倾四孔转换器 t: e5 q# `6 U; P- g4 a4 X1 Q
    u0 [# w3 _5 J$ o
! b2 s1 y$ l; @
刘先生 ( G9 Y5 ]$ x' }, ]2 m7 m2 s! V
' x$ M3 x7 s; D5 t1 e3 `$ x
   
, T& F+ p& _  w6 q3 _3 b北京燕京电子有限公司   
3 k) v' T# x8 e: v  YBeijing Yanjing Electronics co.,ltd.   
2 H7 N5 j% l6 p9 J9 B. k/ Z6 r            
0 w5 F" O! a( A地址:北京市朝阳区酒仙桥东路9号A2座西区7层   1 U# w* N7 w' V3 L3 [
邮编:100016   
& z. ^8 g- F) I+ Q* x) s2 T, |9 GTel: 86-10-5823-7160   
7 i, b& t+ h0 g  w! KFax: 86-10-5922-2787     M; N/ m9 v; M- M7 o6 l% T
Msn:po663340@hotmail.com  8 @6 {2 Q6 b( ?% b8 p
E-mail: liusp@beijingec.com

本帖子中包含更多资源

您需要 登录 才可以下载或查看,没有账号?注册

×

0

主题

0

主题

0

主题

积分
104
QQ
发表于 2009-4-7 10:38:59 | 显示全部楼层

新加的空白文章3

这是新加的空白文章3,可以在UBB可视化编辑器中,添加和修改文章内容。
回复

使用道具 举报

0

主题

0

主题

0

主题

积分
106
QQ
发表于 2009-6-13 13:02:03 | 显示全部楼层

狂顶

今天顶完,明天还过来顶
回复

使用道具 举报

7

主题

7

主题

7

主题

积分
199
QQ
 楼主| 发表于 2009-11-2 18:32:14 | 显示全部楼层
我顶 6 \2 k( U/ h8 {7 b
天天顶
回复

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

Archiver|手机版|小黑屋|光学薄膜论坛

GMT, 2026-5-20 , Processed in 0.025390 second(s), 26 queries .

Powered by Discuz! X3.5 Licensed

© 2001-2026 Discuz! Team.

快速回复 返回顶部 返回列表