AE Apex 电源在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表

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AE(Advanced Energy) RF电源
Apex 射频供电系统
通用 Apex 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。
优势:
●更高的功率密度
9 r2 m3 D5 R( v●更好的工艺灵活性
●产量提高
●持有成本降低
●简化工艺工具整合
' P4 e1 O5 _$ T  e●灵活的通信
特点:
3 z0 Q# E* |# ?, o* m●简化的设计
●真空室安装、框架安装、支架安装和鞋盒式 (shoebox) 选择
. i  h8 m, ^: I# A●宽带控制回路和可选的高重复率脉冲
●业界领先的弧管理
●符合监管要求

" E, W/ N5 k: v5 l9 z! EApex 1513
规格：
- X2 X3 z! ~# a; V4 R●频率：13.56MHz
5 {  w: i  @8 l  E. f, c+ H6 L3 [●输出功率：1500W
●输入电压：208V，50/60HZ，3Φ
●输入电流：17A
●冷却方式：水冷，35℃
8 c. Q5 ^, a1 W5 N- B●尺寸：132.59×215.14×425.96mm

, W. `  J1 n. {* @, X! B3 b3 fApex 3013
" e% m+ E# T! k, \9 I规格：
●频率：13.56MHz
* m) B8 c8 f/ r: x. y# b●输出功率：3000W
  S, j5 ~$ L% |●输入电压：208V，50/60HZ，3Φ
●输入电流：17A
●冷却方式：水冷，35℃
●尺寸：132.59×215.14×425.96mm
  Y7 z7 j7 p0 |8 N% {; V
0 D3 l6 V3 V1 B' f; e) @Apex 5513
7 [1 P/ ^5 w7 n- V! M- J规格：
( A& O$ J3 U7 a( l9 n/ T+ f●频率：13.56MHz
, ~: w3 ~0 s* l5 y5 J0 r●输出功率：5500W
●输入电压：208V，50/60HZ，3Φ
9 u! U. N  j# u8 }9 u  X●输入电流：17A
●冷却方式：水冷，35℃
●尺寸：132.59×215.14×425.96mm
Apex 1513、3013、5513、7KW/13、10KW/13


AENI等离子体电源亚太(上海/广州/香港)维修中心 www.aeni.com.cn
是全球领先的等离子体电源技术中心,是亚太地区AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)产品最专业的维修中心,AE，ENI（MKS）电源产品销售中心
  全球首席等离子体电源维修专家,更专业的技术，更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之尖端电源的维修和技术服务全球领导者。
& ?+ E. R) B" I) e● 藉由整合性服务方案提供半导体及光电子行业更完整便捷的设备维修及技术服务。
● 服务产品包括：AE、ENI等国际品牌的直流，中频及RF射频等离子体溅镀电源的维修、保养、调校、升级,二手产品的销售。
● 专家级的技术人员和先进的检测设备，提供更可靠的服务保证。
7 a/ @+ |4 y8 l% @  F7 T1 D● 当地化的服务体系，服务方式更灵活，价格更合理。
4 O0 w4 l4 s5 `: }●  免费提供相同型号电源应急服务,完善的后备零件提供更快的服务响应。

公司主要承担亚太地区AE，ENI（MKS）等国际品牌RF 射频电源及直流电源的维修测试及调校。同时为亚太地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供专家级射频电源维修保养，升级换代工作。 AENI总部设在德国， 在广州,上海、香港等地设有维修中心以及国外的 18 个国家和地区设立了办事处，为全球ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
# t; b+ S6 L6 l5 Z) i   
- v. n6 r2 _- Y6 v; {" u8 bAE,ENI(MKS)等离子体电源(亚太)维修中心竞争优势:
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   A、价格低于国际市场20%的维修价格;
7 N( L) L8 k# ~+ B5 p, w1 s) S   B、国际顶尖的RF专家负责维修作业;
   C、24小时紧急技术援助服务和2天的快速维修;
   D、维修期间免费提供众多的型号应急使用;
$ T0 k( D) C, c   E、上海\广州\香港设立维修中心提供当地化的服务体系;
   F、完善原厂配件和原厂专家支持和严格遵循ＮＩＳＴ标准;
5 ~2 w' O0 D# N# |________________________________________________________________________
! p& h% N$ E7 p3 }: E3 p, I+ t广州联系资料：
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广州市伊恩埃半导体技术有限公司
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. D. l- e) v! B" n: `联 系 人：林晓东
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