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[原创] 原子层沉积(ALD)设备(含实验室科研和工业生产应用)

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发表于 2009-2-20 00:52:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
1. 芬兰倍耐公司前身是芬兰诺基亚-麦拉菲尔公司光纤及电缆设备部,2005 年成为独立% r/ {5 T4 K6 ^/ f0 ?9 v3 v
的公司。公司主要产品有原子层沉积设备,纳米材料合成设备及玻璃镀膜设备等。
& A% S+ f) H6 U2. 原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反
* a; [- s9 {/ x2 m' c应并形成沉积膜的一种方法 。气相前驱体只能在沉积表面的原子成键位沉积反应;
7 S" z% A  t$ m( `+ H% u5 x所沉积于表面的材料, 在物质的量上是一定的,并且恰好以饱和量覆盖表面各部分。$ Z$ X+ m% H( I6 d7 i' r+ r
3. 通过控制反应周期数简单精确地控制薄膜的厚度,形成达到原子层厚度精度的薄膜。
4 d( [* V  b) V* L" B1 n可生成极好的三维保形性化学计量薄膜,作为台阶覆盖和纳米孔材料的涂层。前驱体" T) O! J4 U& e8 k- Y9 H8 {$ L6 r
是饱和化学吸附,保证生成大面积均匀性的薄膜,不需要控制反应物流量的均一性。! B5 x8 i$ b7 v) {: i) `  T
可以沉积多组份纳米叠加膜和混合膜。: W) f$ b: |' S( ~* |  W# Q
4. 芬兰倍耐克公司的ALD 系统含有两个腔体: 真空腔和沉积反应腔。有效地防止温度, j( H" Y( ]: I- g' o8 q
和真空度的泄漏,保持稳定的沉积反应条件。真空腔外壁采用循环水冷却,是冷壁的% y0 K) n+ _* n  p! ^" P
操作安全可靠;真空腔内壁装有加热装置,可对反应腔进行辐射加热,反应腔是热壁6 J8 C8 {- q3 c$ O4 b9 }* H! M/ P
的,整个反应腔温度均匀,最高温度可达500 度。 沉积腔与真空腔分开,沉积腔嵌& |5 M& y% z% {7 A9 H( J# P2 f
入真空腔,真空腔内的压力高于反应腔压力,有效地防止沉积反应过程中沉积腔内的2 P4 ]# h7 [; }
温度和化学气体泄漏和冷凝,从而保证沉积腔内的体系稳定,不会有二次的化学反5 G  F8 X3 u' m2 U! g$ O, L
应,保证成膜效果和不损伤设备,这是其他只有单一腔体系统所不能达到的。
3 ^1 W3 r) ^/ z/ d+ e) a0 u2 B+ I5. 根据不同形状的基底,可提供不同类型的反应腔,对于平面基底,我们通常提供横流8 I7 E* D" d" `( m; J0 W* l
式沉积腔,这样可提高反应效率,沉积膜的均匀性以及前驱材料的利用率。对于多
& Q) D% `: a4 ?  V, @, G1 Z孔,表面积大的粉体或不规则的三维结构基底,我们可提供其他不同形式的反应腔。6 X2 N2 ]3 g* h* N
芬兰倍耐克公司可根据用户的不同需要提供热反应原子层沉积设备和等离子增强型原" Q9 n( [+ ?0 d# E* u- n6 v) d3 v
子层沉积设备。. Z$ H9 d" a; ]$ l
6. 前驱体源装置稳定可靠,其三通阀门结构设计,可十分方便地对容器内壁及其相连的6 X" o; j7 @0 X, d
管路进行清洗。料源装置的内壁经过了耐腐蚀处理,能够适应氯化物和氟化物等前驱* q$ m* D2 {8 S$ x7 a
体化学品的强腐蚀。
& p  W7 ]- ~) O8 {: e1 B' Q$ y8 r5 M7. 系统采用PLC 控制系统和用户操作界面并配置了高级独立的控制和操作软件,具有互! X% w) B3 l5 x8 h4 {% g) S3 P% B
锁和保护功能可以方便地进行数据存储和编辑。自1985 年在芬兰第一台用于场致发光显
  i7 k/ D) t2 b. Z% U2 B0 S0 i示器工业生产的ALD 设备开始,我们以在全球提供了60多台用于不同领域的原( d  z1 P# S( \3 o" p
子层沉积设备。( d" W1 `1 s5 E1 i
8. 芬兰倍耐克公司的原子层沉积设备最多可同时配置15 个以上的料源。基底工艺温度
+ t  z% G: |& j! S3 ?- p! B& x0 v可控制在25-500oC。
( T! p' T% t0 m" |& q: E& N; l. C9. 我们可以根据客户的要求提供满足不同需要的原子层沉积设备。% n! D2 l* r5 w* I
10. 我们可以根据客户的不同要求提供批量产品镀膜服务。! u& t7 n$ k  A( l- x' j4 y
11.我们竭诚欢迎广大客户参观我们在芬兰实验室的ALD 设备演示。同时我们也可为客户1 j" E; P# N2 c' L
提供样品加工服务。

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 楼主| 发表于 2009-2-25 04:15:35 | 显示全部楼层
顶起来!原子层沉积(ALD)设备(含实验室科研和工业生产应用)
发表于 2009-3-3 06:20:47 | 显示全部楼层
  
发表于 2009-3-4 23:49:05 | 显示全部楼层
8 \& Y6 a& q) X$ t& N6 c
好东西!但是如果能指导一下1个原子层厚度为?nm更好(譬如InAs?如何计算的?)
发表于 2009-3-4 23:53:37 | 显示全部楼层

回 楼主(beneq) 的帖子

好东西!但是如果能指导一下1个原子层厚度为?nm更好(譬如InAs?如何计算的?)
 楼主| 发表于 2009-3-12 07:53:26 | 显示全部楼层
一个原子层厚度通常是1A,也就是0.1nm。具体到不同材料的薄膜,一个原子层薄膜的厚度会略有不同。
发表于 2009-3-19 10:31:54 | 显示全部楼层
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! u6 w9 k2 O& N) E7 [) ~; q用户管理中心  51群组管理条例(必看)   申请群组
发表于 2009-3-22 19:11:30 | 显示全部楼层

发财了哦 来要呵呵

不之道为什么呢4 f* }/ _; h) s* Y! i% v
4 Q* f* i% u: o( r, ~6 `
希望大家能来看看 一起来帮下我如何发财哦
9 z  p  {( Q. D/ b7 ~( v' h0 `/ w: D# J2 r* l. A+ o
最近老是一定感觉会发财呢
发表于 2009-3-27 14:57:04 | 显示全部楼层
還沒到這地步 但可以看看
发表于 2009-3-28 13:28:22 | 显示全部楼层

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苏州工业园区百通喷砂设备有限公司是一家长期专业致力于喷砂技术及喷砂机研制的企业,座落于著名的中新苏州工业园区,总部设在广东东莞,本着“脚踏实地、诚信为本、注重服务、不断创新”的经营理念,经过近十年的努力,我们用自己的心血和专注,开发出一系列完善的喷砂设备配套。<a href=http://www.penshashebei.net.cn>苏州喷砂设备</a>联系人: 刘仕新 手机:13584832398
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