1064 nm激光脉冲致光学薄膜分层剥落损伤特性

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1064 nm激光脉冲致光学薄膜分层剥落损伤特性
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【英文篇名】 Delamination of Optical Thin Films Induced by 1064 nm Laser Pulse
【作者中文名】 李大伟; 许程; 赵元安; 邵建达; 范正修;
【作者英文名】 Li Dawei~（1; 2） Xu Cheng~（1; 2） Zhao Yuan an~1 Shao Jianda~1 Fan Zhengxiu~1 1 Shanghai Institute of
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2 o$ `! R: M& X, O- Q0 E$ G1 S6 oOptics and Fine Mechanics; Chinese Academy of Sciences; Shanghai 201800; China 2 Graduate University of Chinese Academy of
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2 ]( x+ _( w) K# k0 Y! ?Sciences; Beijing 100039; China;
【作者单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800 中国科学院研究生院; 上海 201800
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+ L; V2 d6 L( e; M* i3 p& M8 w8 R- ?中国科学院研究生院;
+ j  e7 q5 K  Y% d' R0 \2 ~【文献出处】 中国激光, Chinese Journal of Lasers, 编辑部邮箱 2008年 05期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
: q$ m5 }! t5 K9 P; c" v& [: @9 {【关键词】 光学薄膜; 激光损伤; 分层剥落; 剥落阈值;
& x/ v& X2 Y. n$ [) b9 ?【英文关键词】 optical thin films; laser induced damage; delamination; delamination threshold;
【摘要】 研究了1064 nm激光辐照致光学薄膜分层剥落的损伤特性及其抑制手段。从光学薄膜的界面结构出发分析了温升在分层剥落产生过
; M, V# w$ E2 Y6 g: u& h4 t
! }4 c7 W/ }5 U. f5 \7 ^程中的作用,从理论上得出了剥落面积与辐照脉冲能量之间的关系式并通过实验进行验证,间接证明了分层剥落的成因;对分层剥落的抑制、改
9 b7 d& M  }5 N
% _$ B* x0 T! e( S善方法进行了理论探讨与实验,证明亚阈值能量脉冲预辐照之后剥落面积明显减小,并且在一定范围内预辐照脉冲的能量密度越高相应的效果

5 Z! T. ]9 s* u7 R% u: q越明显,对作用机制给出了定性解释。
8 t' k; K& U5 U1 _* h1 t, F【英文摘要】 The delamination characteristic of optical thin films induced by laser pulse at 1064 nm and its restraining
- u5 {" A' v* V. z4 ^/ I/ z
* ~. _- t  k8 L6 X* l2 V$ F: _6 R* cmethod were studied.The process of delamination was analyzed and the relationship between the area of delamination and the

energy of irradiating pulse was deduced theoretically and proved experimentally.Some theories probes to control

) e& F6 ?8 c  I; zdelamination were done and it was found that irradiation with low energy density pulse could enhance the delaminating
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# C2 q) h' N9 A$ Tthreshold and reduce the area of delamination.The e...

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1_m激光对光学薄膜的损伤￥

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