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新型红外增透膜和保护膜
' o; i4 u5 V) O* z9 T9 a1 N刘正堂 张贵锋摘 要:介绍了类金刚石碳(DLC)膜和碳化锗(GexC1-x)薄膜的沉积方法、特性在红外光学镀膜中的应用进展。3 t$ ^5 g5 e9 q3 x' g
/ q7 r/ q2 J7 f: U3 i; }关键词:红外增透薄膜 保护薄膜 类金刚石碳膜1 I9 O1 z/ x5 y6 }+ C
分类号: TN213文献标识码:文章编号:栏目信息:, R, A3 k- u9 B7 n
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