范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用

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范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用
朱俊杰[1] 刘磁辉[1] 林碧霞[2] 谢家纯[1] 傅竹西[1][1]中国科学技术大学物理系 [2]中国科学院结构分析重点实验室，安徽合肥230026摘　要:近年来，随着对宽禁带半导体材料，氧化锌薄膜研究的快速发展，对其电学性质的研究也显得尤为重要。主要介绍范德堡方法在ZnO薄膜电学性质测量中的应用，并对初步测量结果作简要的讨论。
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7 a. V; P9 C/ U! `关键词:范德堡方法 ZnO膜薄 欧姆接触 霍尔效应
" R% V, ?: D' X4 B; F  ^分类号:　O472.3文献标识码：文章编号：栏目信息：研究论文
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