全自動光學監控離子輔助蒸鍍系統

gds

全自動光學監控離子輔助蒸鍍系統               
         全自動光學膜厚控制是預先估算膜厚與穿透率或光譜的關係，利用光源、光機的結構，量取穿透率換算為膜厚的變化量，在製程中即時量取穿透率或光譜與預估結果比對藉以控制膜厚。日前公司已自工研院光電所技術移轉此技術，並將程式修改而大幅提升解析度與穩定性，膜厚監控系統的波長解析度提升至1nm，穿透率的雜訊約0.2%以下，以提高鍍膜產品的品質與良率，並且視窗化人機操作介面，全自動且可調整彈性製程參數的設計，並配合離子輔助蒸鍍系統，而成為高品質且具競爭優勢的鍍膜量產機台。下圖是全自動光學系統的示意圖。