高手急救，金属膜！！

青青我心 · 发表于 2008-11-22 05:54:24

诚信求教！！！诸位高手，最近镀金属膜层铬 CR ，针孔层出不穷，镀完酒精一擦，针孔更多！

真空室是刚洗过的，最近都块头疼死了！

gds · 发表于 2008-11-23 00:50:54

你用什么方式蒸镀铬 CR ？电子枪好像没有这现象，速度要慢些，请别的高手指教。。。

青青我心 · 发表于 2008-11-25 00:43:35

我是用电子枪的，离子源辅助

速度也不快。4A/S、2A/S

但是针孔就是去不掉，一擦一洗马上就都出来了！！

高手帮忙！！

zhi_ma · 发表于 2009-7-9 06:09:34

以前也出现过，不过只有一两次也就没有了，不知真空度有没有问题、还有镀膜前基底有没有处理干净、CR膜料有放气处理吗？

yupo54 · 发表于 2009-7-26 09:52:57

是不是金属离子能量太高了，我镀Mo也会出现类似问题

280870377 · 发表于 2012-9-5 10:18:40

镀膜之前用离子源轰击一段时间，注意基片的清洗

lcary · 发表于 2012-12-28 06:51:01

基材表面洁净度不够的可能性大一些

迷人夏季 · 发表于 2013-4-1 16:26:49

accost · 发表于 2013-11-21 20:58:40

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