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减反膜制备工艺及其应用* I0 D: j |, t8 d( `
罗海燕‘黄光周1 马国欣1朱建明2戴晋福2' B. c' W5 R' p- l4 z" k
(1.华南理工大学电信学院广州510640;2.广东肇庆市科润真空设备有限公司肇庆市526060)
# E5 U, o- d- J0 u: h0 E摘要:减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位。其研究依赖于制备工艺。本文结合近几
. n- z# R6 Z! K! a! F年来国内外的研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的
+ A! m" {3 i- w- k优缺点,如真空蒸镀、溅射镀和溶胶.凝胶等,提出了相应的改进方法,并分析了这些工艺在减反膜制备0 m7 q# M; m$ | n
中的应用前景。& ^8 M+ l/ ?* e, ]
关键词:减反膜;制备工艺:反射率:透射率 |
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