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减反膜制备工艺及其应用
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! |$ |1 Z8 l: y% ^' Y+ H" Z(1.华南理工大学电信学院广州510640;2.广东肇庆市科润真空设备有限公司肇庆市526060)/ X7 d4 s. z$ x2 \$ v- d- B
摘要:减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位。其研究依赖于制备工艺。本文结合近几 d" ]1 c" ?; U. h/ _8 a
年来国内外的研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的2 }/ {6 d2 F* H0 X8 w
优缺点,如真空蒸镀、溅射镀和溶胶.凝胶等,提出了相应的改进方法,并分析了这些工艺在减反膜制备
3 y4 O2 N+ l4 Q, J, S中的应用前景。. ^' S8 h0 C& q, e
关键词:减反膜;制备工艺:反射率:透射率 |
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