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TDC-200膜层控制仪
2 z6 U; ~0 k! E用于实时薄膜沉积速率控制
# c( ], Y( J( @7 U) Q; u2 D& s3 q频率显示精度0.01赫兹,速率显示精度0.1埃/秒,
" o. b& a" g8 s! Q7 l- T3 M双路源电压控制,32个独立输入/输出端口,/ {$ a9 f. B+ t9 [/ @: G* }
存储能力495层,具有速率和功率曲线; ~/ C5 y6 v* e W
可控制2个蒸发源,配RS-232应用软件
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石家庄威泰科技有限公司
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