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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › MOCVD工艺中的载气

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[求助] MOCVD工艺中的载气

发表于 2008-5-2 06:42:51 | 显示全部楼层 |阅读模式

载气在MOCVD工艺中有稀释前驱体的作用，请问各位高手，前驱体被稀释后有什么好处？

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楼主| 发表于 2008-5-2 06:43:47 | 显示全部楼层

请各位大侠指点一下，在下不胜感激！

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发表于 2008-10-21 00:24:59 | 显示全部楼层

避免在送气管路中凝结，使之顺利通入真空室。

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