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1、铁电薄膜是不是就是光学薄膜的一种?
9 U Z8 `9 V5 A% y; y/ r 现代光学薄膜的制备是不是几乎都采用真空镀膜方法?
! p' k- s% _# Z9 g 真空镀膜方法主要分:
' c, u/ _. l8 O7 S* R 1) 物理气相沉积(PVD):
# f* n* W* \6 p$ R 蒸发镀:热蒸发、电子束蒸发、溅射蒸发。 。 。
4 H* B2 v a0 B& `0 {7 z+ W: K; j 溅射镀:磁控溅射、反应溅射 、中频溅射和脉冲溅射。 。。
3 p5 T7 Z; y3 j6 Z4 \3 ? 离子镀:多弧离子镀、空心阴极电弧离子镀、阴极放电离子镀。 。 。6 _- `1 e( j2 }. P9 E
2) 化学气相沉积(CVD):% I) q/ K, ]8 h7 l. X9 i
高温和低温CVD、低压CVD、激光辅助CVD 。。 。9 v, \' x7 A% {$ q9 |2 R
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以上说法对不对?; l# |9 r+ o( M& @) Q
% ?# q5 R b( Z, x8 Y3 b# s3 ^ 2、 敬请将铁电氧化物、磁性合金,以及铁电氧化物与磁性合金的复合膜等简单介绍一下
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烦请各位好心的前辈赐教一二,非常感谢!! |
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