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1、铁电薄膜是不是就是光学薄膜的一种?
+ ~0 [$ M9 b6 S# F 现代光学薄膜的制备是不是几乎都采用真空镀膜方法?
/ W' b. M. n4 B$ w6 x2 Q 真空镀膜方法主要分:
6 o f1 ?' O! h8 C+ l% H 1) 物理气相沉积(PVD):
$ B# ]* G: G3 R# C0 F/ |3 x( \ 蒸发镀:热蒸发、电子束蒸发、溅射蒸发。 。 。
+ T. ?# s0 h4 U6 e1 s) Z8 C; |7 m 溅射镀:磁控溅射、反应溅射 、中频溅射和脉冲溅射。 。。 3 Z, B' Z9 y X' B; U* U _
离子镀:多弧离子镀、空心阴极电弧离子镀、阴极放电离子镀。 。 。# t! x; H( _8 c8 H7 m4 `+ y
2) 化学气相沉积(CVD):
9 f6 M2 N6 k# V" T3 o 高温和低温CVD、低压CVD、激光辅助CVD 。。 。; X; T+ m) _) A, `/ A& H! J6 P" w
' E% Y, `! `3 R. S 以上说法对不对?
' u: ^. E6 V9 T. a4 h* A* f1 Y
* r; Q# x: v ~ 2、 敬请将铁电氧化物、磁性合金,以及铁电氧化物与磁性合金的复合膜等简单介绍一下+ G H. I8 C5 l1 h% C" u
0 @8 _4 H$ ~; K0 U. K+ m. R8 P烦请各位好心的前辈赐教一二,非常感谢!! |
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