关于镀膜机精度的问题

omfalio · 发表于 2008-2-28 20:42:02

请高手指教：

请问现在的镀膜机，其膜厚精度能达到1%么？

就是说我100nm的膜加工出来的厚度是（99nm，101nm）之间。

longfeichi · 发表于 2006-1-6 05:41:53

应该可以呀!我是搞离子蚀刻和镀膜的呀!工艺要求比较高!如离子源,RF,气体,电子等都有关系呀!

yls · 发表于 2005-12-29 13:07:58

那要看你的控制方法！！！！！！！！！

显示全部楼层 · 发表于 2008-3-4 03:38:18

引用第2楼yls于2008-03-03 11:56发表的 :8 s" k) J6 S5 G$ t/ D
那要看你的控制方法！！！！！！！！！

是的,国产机器一般很难控制这么准确,与很多因素有关,如挡板打开/关闭时间,即使选用国外监控设备,国内机械也很难作到这么准确.

sbb · 发表于 2008-3-7 00:39:21

IAD加个晶振可以，不过测量结果不好说

xbimr · 发表于 2008-4-18 23:06:09

应该可以，主要取决于系统

leicd · 发表于 2010-6-17 23:12:39

有谁可以提供相关设备信息，请发布，谢谢！

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