基于VC的自动化镀膜仪控制系统研究

基于VC的自动化镀膜仪控制系统研究
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. R& Z" t% s$ Y% W3 d【英文篇名】 Development of an auto-monitoring system of depositing thin-film based on VC
【作者中文名】 许世军; 任小玲;
0 j. E2 d* |* }【作者英文名】 XU Shi-jun 1; 2; REN Xiao-ling 3（1.Dept.of Mathematics & Physics; Xi'an Technological University; Xi'an 710032; China; 2.School of Science; Xi'an Jiaotong University; Xi'an 710049; 3.School of Computer; Xi'an Polytechnic University; Xi'an 710048; China）;
$ G/ r& h9 X: J2 Q1 i3 [, K【作者单位】 西安工业大学数理系; 西安工程大学计算机学院 陕西西安; 西安交通大学理学院; 陕西西安;
【文献出处】 合肥工业大学学报(自然科学版), Journal of Hefei University of Technology(Natural Science), 编辑部邮箱 2007年 06期  
% c/ B8 B5 F: J0 X/ g. d期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【关键词】 薄膜光学; 监控系统; VC++; 复合滤波; 数字判断; 双光束;
【英文关键词】 film optics; monitoring system; VC++; compound filter; digital judgement; dual-light beam;
【摘要】 文章针对双光路膜厚监控原理,设计了双锁相放大电路、复合滤波处理和数字判断等一套微弱信号优化处理方案,并在VC++6.0集成开发环境下进行自动化监控。实验结果表明:膜厚监控系统的低反射率膜的反射率显示分辨极限为0.02%,膜厚控制的标准偏差为0.55%;软件控制系统工作可靠,界面设计友好,人机互动性强,图标和状态指示器等特色界面丰富了界面功能和方便了用户。在对监控信号的高稳定和高精度检测基础上用VC实现了镀膜全部工艺过程的自动化,并且性能价格比优于同类镀膜设备系统。
【英文摘要】 An optimization processing system of faint photoelectric signals is designed according to the thin-film thickness monitoring(TFTM) principle of dual-light beams.The system adopts the dual-lock-phase circuit and the compound filter and has the function of digital judgement.Then an automated TFTM system is developed based on VC++6.0.Experiment results show that the display resolution limit of the TFTM system on lower reflectivity is 0.02% and the standard deviation of TFTM is 0.55%.The software system can run...

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谢谢了饿
拿走u去看看了

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恩，拿来看看了
' Q4 m0 H) I$ E8 [" V6 o$ B2 {; m谢谢