基于VC的自动化镀膜仪控制系统研究

基于VC的自动化镀膜仪控制系统研究
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【英文篇名】 Development of an auto-monitoring system of depositing thin-film based on VC
) o" ?# u7 X- O【作者中文名】 许世军; 任小玲;
2 _" b# v0 u* B) d【作者英文名】 XU Shi-jun 1; 2; REN Xiao-ling 3（1.Dept.of Mathematics & Physics; Xi'an Technological University; Xi'an 710032; China; 2.School of Science; Xi'an Jiaotong University; Xi'an 710049; 3.School of Computer; Xi'an Polytechnic University; Xi'an 710048; China）;
【作者单位】 西安工业大学数理系; 西安工程大学计算机学院 陕西西安; 西安交通大学理学院; 陕西西安;
6 K9 _4 e+ b* @" K, c- R/ X【文献出处】 合肥工业大学学报(自然科学版), Journal of Hefei University of Technology(Natural Science), 编辑部邮箱 2007年 06期  
- q, {4 G, q7 o! \1 @$ Q: w8 N; x期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
6 u2 ^5 V0 B$ Y【关键词】 薄膜光学; 监控系统; VC++; 复合滤波; 数字判断; 双光束;
! n) ?0 E$ I; b% M) q- T" P' l9 _【英文关键词】 film optics; monitoring system; VC++; compound filter; digital judgement; dual-light beam;
  }* U- ]$ b: T. g9 M0 G; k【摘要】 文章针对双光路膜厚监控原理,设计了双锁相放大电路、复合滤波处理和数字判断等一套微弱信号优化处理方案,并在VC++6.0集成开发环境下进行自动化监控。实验结果表明:膜厚监控系统的低反射率膜的反射率显示分辨极限为0.02%,膜厚控制的标准偏差为0.55%;软件控制系统工作可靠,界面设计友好,人机互动性强,图标和状态指示器等特色界面丰富了界面功能和方便了用户。在对监控信号的高稳定和高精度检测基础上用VC实现了镀膜全部工艺过程的自动化,并且性能价格比优于同类镀膜设备系统。
8 q6 ~+ ]3 y" t3 V6 f9 V【英文摘要】 An optimization processing system of faint photoelectric signals is designed according to the thin-film thickness monitoring(TFTM) principle of dual-light beams.The system adopts the dual-lock-phase circuit and the compound filter and has the function of digital judgement.Then an automated TFTM system is developed based on VC++6.0.Experiment results show that the display resolution limit of the TFTM system on lower reflectivity is 0.02% and the standard deviation of TFTM is 0.55%.The software system can run...

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谢谢了饿
拿走u去看看了

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恩，拿来看看了
谢谢