溅射sio2膜，膜层发黑且不绝缘是什么原因啊

zl1982 · 发表于 2008-1-5 16:12:49

如题，小弟是新手，恳请各位指点。谢谢！！

bakgy · 发表于 2006-1-6 05:41:53

可能是材料有污染 .

optilm · 发表于 2005-12-29 13:07:58

你用什么方法溅射的啊？不会镀上去的是硅吧？

方舟 · 发表于 2008-3-21 11:29:20

腔体真空镀差，或有污染!

chb0320 · 发表于 2008-4-17 14:26:10

基底是什么材料？

方舟 · 发表于 2008-4-26 17:35:59

腔室真空度不好，SiO2,对真空要求是非常高的!

280870377 · 发表于 2012-10-31 05:54:24

可能是失o2了，

27676995 · 发表于 2013-11-8 17:06:12

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