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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 磁控溅射起辉不正常
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查看: 1579|回复: 2

[求助] 磁控溅射起辉不正常

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发表于 2007-12-19 23:29:41 | 显示全部楼层 |阅读模式
我在做的过程中,不仅靶起辉了,连套筒也起辉了,是什么原因啊?
9 m3 d" @9 f; u有人说人漏电,应该怎么解决啊?
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zkzk
发表于 2006-1-6 13:41:53 | 显示全部楼层
首先看你靶材周围的绝缘性,然后检查你靶材的电位和套筒的电位
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zkzk
发表于 2005-12-29 21:07:58 | 显示全部楼层
套筒的材料也要注意
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