光学薄膜膜厚自动控制系统的研究

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光学薄膜膜厚自动控制系统的研究



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【英文篇名】 Research of an Automatic System Monitoring Thickness of Optical Thin-Film
& K3 z( ?6 }8 d0 \$ R【作者中文名】 朱美萍; 易葵; 郭世海; 范正修; 邵建达;
6 J: \1 U( s' j5 x, I& Y/ t【作者英文名】 ZHU Mei-ping1; 2; YI Kui1; GUO Shi-hai1; FAN Zhengxiu1; SHAO Jian-da1（1 Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics; Chinese Academy of Sciences; Shanghai 201800; China）（2 Graduate University of Chinese Academy of Sciences; Beijing 100039; China）;
0 X. C* d8 B+ X3 N1 n" }【作者单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海; 中国科学院研究生院;
【文献出处】 光子学报, Acta Photonica Sinica, 编辑部邮箱 2007年 02期  
! b; q/ }5 R( b- L; r! N0 H) n期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【关键词】 光学薄膜; 自动控制; 光学监控; 规整膜系; 非规整膜系;
( w1 ?" }6 O$ Y* e: _【英文关键词】 Optical coatings; Automatic monitoring; Optical monitoring; Quarter wave coatings; Non-quarter wave coatings;
5 T3 G& f) Z6 k5 x& `( ~【摘要】 介绍了一种利用光电极值法同时控制规整膜系和非规整膜系的方法,利用VC++编写程序实现对光学监控信号的采集、处理及停镀点的自动判断,实现了规整膜系和非规整膜系膜层厚度的自动控制.并利用该膜厚自动控制系统实验制备了规整膜系和非规整膜系多层膜,实验结果表明:利用该系统镀制的薄膜重复性良好,且光谱曲线和理论光谱曲线吻合较好.该系统解决了非规整膜系的监控问题,由计算机控制膜层的停镀点,排除了人的主观因素对薄膜的性能及其制备的重复性产生的影响,提高了薄膜镀制的重复性和成品率.
; q+ ]: `9 t$ S( @8 w0 {【英文摘要】 A measurement which can monitor quarter wave and nonquarter wave coatings by optical turning point monitoring was introduced.The acquisition,processing of the optical monitoring signal and automatic judgment of termination point were achieved by programming with VC++.Quarter wave and non-quarter wave coatings were made by the automatic monitoring system.Experiment results show that coatings made by the automatic monitoring system have good repetition,and the experimental transmittance spectra approached to ...

刘邦123

这东西不错哦，有见解哦

黄小羊

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黄小羊

不会吧，没钱了