电子枪和离子源的冷却水问题

jangsin · 发表于 2007-11-26 23:02:48

我们的镀膜机在镀完膜，开始充气的时候，电子枪和离子源的冷却水应该是自动关闭循环的，但是现在不论什么时候都一直循环，有知道为什么吗？帮小弟指点一下，谢谢

nanovac · 发表于 2006-1-6 05:41:53

电子枪、离子源、还有磁控靶停机后千万不能关循环水。因为还有很高的余热存在于各部件。一关很可能会烧坏设备。

lwei_txj · 发表于 2005-12-29 13:07:58

引用第1楼nanovac于2007-12-04 21:56发表的 :& k* G) o* q9 h; L
电子枪、离子源、还有磁控靶停机后千万不能关循环水。因为还有很高的余热存在于各部件。一关很可能会烧坏设备。

说的太对了

mico · 发表于 2008-1-17 17:12:16

真的是這樣

lzh1234 · 发表于 2014-8-17 16:37:58

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